Processing math: 100%
Випуски МФіНТ »  Том 38, випуск 3

Структурні та рентгено-оптичні характеристики багатошарових рентгенівських дзеркал W/Si

Ю. П. Першин1, А. Ю. Девізенко1, В. В. Кондратенко1, H. Modrow2, F.-J. Hormes3

1Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Фрунзе, 21, 61002 Харків, Україна
2Physikalisches Institut, Rheinische Friedrich-Wilhelms Universität Bonn, 12 Nuβallee, D-5315 Bundesrepublik, Deutschlan
3Canadian Light Source, University of Saskatchewan, 101 Premeter Road, SK S7NOX4 Saskatoon, Canada

Отримано: 13.01.2016. Завантажити: PDF

Методами рентґенівської дифракції в жорсткому (λ= 0,154 нм) та м’якому (0,8 <λ< 2,4 нм) діапазонах досліджено структуру та оптичні властивості серії багатошарових рентґенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методою магнетронного розпорошення, у яких систематично змінюється період у діапазоні 1—6нм. Присутність на міжфазних межах змішаних прошарків силіциду WSi2 спричиняє найбільший вплив на зменшення коефіцієнту відбивання БРД в м’якій рентґенівській області (λ=2,36нм). Показано можливість виготовлення багатошарового дзеркала з оптичною роздільчою здатністю у м’якому рентґенівському діапазоні щонайменше у 5 разів вище, аніж у стандартних дзеркал W/Si.

Ключові слова: багатошарове рентґенівське дзеркало, м’яке рентґенівське випромінення, відбивна здатність, роздільча здатність, міжфазна взаємодія, силіцид.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i03/0367.html

PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 61.05.cf, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Fx, 78.67.Pt, 81.15.Cd

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. P. J. Potts and A. G. Tindle, Mineralogical Magazine, 53, No. 371: 357 (1989). Crossref
  2. T. C. Huang, A. Fung, and R. L. White, X-Ray Spectrometry, 18, No. 2: 53 (1989). Crossref
  3. F. Frontera and G. Pareschi, Proc. SPIE, 2515: 2 (1995). Crossref
  4. F. Schäfers, M. Grioni, J. Wood, H. van Brug, E. J. Puik, M. Dapor, and F. Marchetti, Proc. SPIE, 984: 23 (1988). Crossref
  5. S. W. Kortboyer, J. B . Goedkoop, F. M. F . De Groot, M. Grioni, J. C. Fuggle, and H. Petersen, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 275, No. 2: 435 (1989). Crossref
  6. C. Michaelsen, P. Ricardo, D. Anders, M. Schuster, J. Schilling, and H. Göbel, Advances in X-ray Analysis, 42: 308 (2000).
  7. A. Erko, F. Schäfers, B. Vidal, A. Yakshin, U. Pietsch, and W. Mahler, Rev. Sci. Instrum., 66, No. 10: 4845 (1995). Crossref
  8. K. D. Joensen, P. Høghøj, F. Christensen, P. Gorenstein, J. Susini, E. Ziegler, and A. Freund, J. Wood, Proc. SPIE, 2011: 360 (1994). Crossref
  9. D. Spiga, A. Mirone, G. Pareschi, R. Canestrari, V. Cotroneo, C. Ferrari, C. Ferrero, L. Lazzarini, and D. Vernani, Proc. SPIE, 6266: 626616 (2006). Crossref
  10. M. Jergel, P. Mikulík, E. Majková, Š. Luby, R. Senderák, E. Pinèík, M. Brunel, P. Hudek, I. Kostiè, and A. Koneèníková, Materials Structure, 6, No. 1: 11 (1999).
  11. M. Jergel, C. Falcony, P. Mikulík, L. Ortega, E. Majková, E. Pinèík, Š. Luby, I. Kostiè, and P. Hudek, Superficies y Vacío, No. 13: 10 (2001).
  12. R. M. Fechtchenko, A. V. Vinogradov, and D. L. Voronov, Opt. Commun., 210, Nos. 3–6: 179 (2002). Crossref
  13. P. Mikulík, M. Jergel, T. Baumbach, E. Majková, E. Pinèík, Š. Luby, L. Ortega, R. Tucoulou, P. Hudek, and I. Kostiè, J. Phys. D, 34, No. 10: A188 (2001). Crossref
  14. M. Jergel, P. Mikulík, E. Majková, Š. Luby, R. Senderák, E. Pinčík, M. Brunel, P. Hudek, I. Kostič, and A. Konečníková, J. Appl. Phys., 85, No. 2: 1225 (1999). Crossref
  15. Ch. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, M. A. Zurbuchen, and G. B. Stephenson, J. Appl. Phys., 98, No. 1: 113519 (2005). Crossref
  16. H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, S. Bajt, and H. N. Chapman, Appl. Phys. Lett., 86, No. 1: 151109 (2005). Crossref
  17. H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett., 96, No. 12: 127401 (2006). Crossref
  18. H. Ch. Kang, G. B. Stephenson, Ch. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum., 78, No. 4: 046103 (2007). Crossref
  19. И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов, А. Ю. Девизенко, Н. В. Калинин, И. А. Копылец, В. Е. Пуха, Б. А. Савицкий, Р. М. Фещенко, ЖТФ, 82, № 9: 101 (2012).
  20. N. F. Brejnholt, F. E. Christensen, C. J. Hailey, N. M. Barrière, W. W. Craig, B. Grefenstette, J. Koglin, K. KruseMadsen, J. K. Vogel, H. An, K. Blaedel, J. Brown, T. Decker, Z. Haider, A. C. Jakobsen, C. P. Cooper-Jensen, K. Mori, M. Nynka, M. J. Pivovaroff, C. Sleator, D. Stefanik, M. Stern, G. Tajiri, D. Thornhill, and J. S. Cushman, X-Ray Optics and Instrumentation, 2011: ID 285079 (2011).
  21. K. K. Madsen, F. E. Christensen C. P. Jensena, E. Zieglerb, W. W. Craigc, K. Gundersonc, J. E. Koglind, and K. Pedersen, Proc. SPIE, 5168: 41 (2004). Crossref
  22. K. D. Joensen, P. Voutov, A. Szentgyorgyi, J. Roll, P. Gorenstein, P. Høghøj, and F. E. Christensen, Appl. Opt., 34, No. 34: 7935 (1995). Crossref
  23. P. H. Mao, F. A. Harrison, Y. Y. Platonov, D. M. Broadway, B. DeGroot, F. E. Christensen, W. W. Craig, and C. J. Hailey, Proc. SPIE, 3114: 526 (1997). Crossref
  24. D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys., 88, No. 1: 460 (2000). Crossref
  25. J. B. Kortright, St. Joksch, and E. Ziegler, J. Appl. Phys., 69, No. 1: 168 (1991). Crossref
  26. Y. S. Chu, C. Liu, D. C. Mancini, F. De Carlo, A. T. Macrander, B. Lai, and D. Shu, Rev. Sci. Instrum., 73, No. 3: 1485 (2002). Crossref
  27. L. E. Berman, Z. Yin, S. B. Dierker, E. Dufresne, S. G. J. Mochrie, O. K. C. Tsui, S. K. Burley, F. Shu, X. Xie, M. S. Capel, and R. M. Sweet, AIP Conf. Proc., 417: 71 (1997). Crossref
  28. E. Ziegler, Y. Lepêtre, S. Joksch, V. Saile, S. Mourikis, P. J. Viccaro, G. Rolland, and F. Laugier, Rev. Sci. Instrum., 60, No. 7: 1999 (1989). Crossref
  29. A. K. Freund, Structure, 4, No. 2: 121 (1996). Crossref
  30. W. C. Shih and W. M. Stobbs, Ultramicroscopy, 32: 219 (1990). Crossref
  31. M. M. Hasan, R. J. Highmore, and R. E. Somekh, Vacuum, 43, Nos. 1/2: 55 (1992). Crossref
  32. D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys., 88, No. 1: 460 (2000). Crossref
  33. Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, V. V. Kondratenko, V. A. Sevryukova, and S. V. Kurbatova, Appl. Phys. A, 103, No. 4: 1021 (2011). Crossref
  34. W. S. Lau, J. Zhang, X. Wan, J. K. Luo, Y. Xu, and H. Wong, AIP Advances, 4: 027120 (2014). Crossref
  35. Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, and R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Özcan, J. Appl. Phys., 101, No. 2: 023503 (2007). Crossref
  36. E. Spiller, S. Baker, E. Parra, and C. Tarrio, Proc. SPIE, 3767: 143 (1999). Crossref
  37. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник (Ред. Н. П. Лякишев) (Москва: Машиностроение: 2000), т. 3, книга 2, с. 301.
  38. Зеркальная рентгеновская оптика (Ред. А. В. Виноградов) (Ленинград: Машиностроение: 1989).
  39. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Tables, 54, No. 2: 181 (1993). Crossref
  40. J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Roulliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A, 88, No. 4: 719 (2007). Crossref
  41. G. Love and V. D. Scott, Inst. Phys. Conf. Ser., No. 90: 349 (1987).
  42. Р. Джеймс, Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей (Москва: Иностранная литература: 1950).
  43. З. Г. Пинскер, Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах (Москва: Наука: 1974).
  44. В. И. Иверонова, Г. П. Ривкевич, Теория рассеяния рентгеновских лучей (Москва: Издательство МГУ: 1978).
  45. Y. Platonov, L. Gomez, and D. Broadway, Proc. SPIE, 4782: 152 (2002). Crossref

© 2013–2018 «ІМФ НАН України»