Структурні та рентгено-оптичні характеристики багатошарових рентгенівських дзеркал W/Si
Ю. П. Першин1, А. Ю. Девізенко1, В. В. Кондратенко1, H. Modrow2, F.-J. Hormes3
1Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Фрунзе, 21, 61002 Харків, Україна
2Physikalisches Institut, Rheinische Friedrich-Wilhelms Universität Bonn, 12 Nuβallee, D-5315 Bundesrepublik, Deutschlan
3Canadian Light Source, University of Saskatchewan, 101 Premeter Road, SK S7NOX4 Saskatoon, Canada
Отримано: 13.01.2016. Завантажити: PDF
Методами рентґенівської дифракції в жорсткому (λ= 0,154 нм) та м’якому (0,8 <λ< 2,4 нм) діапазонах досліджено структуру та оптичні властивості серії багатошарових рентґенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методою магнетронного розпорошення, у яких систематично змінюється період у діапазоні 1—6нм. Присутність на міжфазних межах змішаних прошарків силіциду WSi2 спричиняє найбільший вплив на зменшення коефіцієнту відбивання БРД в м’якій рентґенівській області (λ=2,36нм). Показано можливість виготовлення багатошарового дзеркала з оптичною роздільчою здатністю у м’якому рентґенівському діапазоні щонайменше у 5 разів вище, аніж у стандартних дзеркал W/Si.
Ключові слова: багатошарове рентґенівське дзеркало, м’яке рентґенівське випромінення, відбивна здатність, роздільча здатність, міжфазна взаємодія, силіцид.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i03/0367.html
PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 61.05.cf, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Fx, 78.67.Pt, 81.15.Cd