Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

В. Н. Коломиец $^{1}$ , И. Н. Кононенко $^{1}$ , С. Н. Кравченко $^{1}$ , М. И. Захарец $^{1}$ , В. Е. Сторижко $^{1}$ , В. И. Возный $^{1}$ , А. Н. Бугай $^{1}$ , А. Ю. Девизенко $^{2}$

$^{1}$ Институт прикладной физики НАН Украины, ул. Петропавловская, 58, 40000 Сумы, Украина
$^{2}$ Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичёва, 21, 61002 Харьков, Украина

Получена: 10.05.2016. Скачать: PDF

Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С] $_{10}$ , изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия.

Ключевые слова: многослойное периодическое покрытие, резерфордовское обратное рассеяние, малоугловая рентгеновская дифракция.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i06/0815.html

PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

Наноструктурные материалы (Ред. Р. Ханнинк, А. Хилл) (Москва: Техносфера: 2009).
И. А. Журавель, Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Ю. П. Першин, В. В. Кондратенко, ФИП, 9, № 2: 134 (2011).
H. B. Коваленко, С. В. Мытниченко, В. А. Чернов, Поверхность, № 1: 55 (2002).
Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Е. Н. Зубарев, В. А. Севрюкова, В. В. Кондратенко, Металлофиз. новейшие технол., 30, № 11: 1533 (2008).
К. Оура, В. Г. Лифшиц, А. А. Саранин, А. В. Зотов, М. Катаяма, Введение в физику поверхности (Москва: Наука: 2006).
Е. А. Бугаев, ФИП, 10, № 1: 59 (2012).
O. M. Buhay, A. A. Drozdenko, M. I. Zakharets, I. G. Ignat’ev, A. B. Kramchenkov, V. I. Miroshnichenko, A. G. Ponomarev, and V. E. Storizhko, Physics Procedia, 66: 166 (2015). Crossref
А. А. Дрозденко, В. Л. Денисенко, А. Б. Дудник, М. И. Захарец, А. Б. Крамченков, В. В. Куприенко, Н. А. Сайко, В. Е. Сторижко, Вестник СумГУ. Серия: Физика, математика, механика, № 2: 60 (2008).
А. В. Виноградов, И. А. Брытов, А. Я. Грудский, Зеркальная рентгеновская оптика (Ленинград: Машиностроение: 1989).
B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables, 54, No. 2: 181 (1993). Crossref
J. C. Bravman and R. Sinclair, J. Electron Microscopy. Tech., 1, No. 1: 53 (1984). Crossref
J. Mayer, SIMNRA User’s Guide. Report IPP 9/113 (Garching, Germany: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik: 1997).