Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

В. Н. Коломиец$^{1}$, И. Н. Кононенко$^{1}$, С. Н. Кравченко$^{1}$, М. И. Захарец$^{1}$, В. Е. Сторижко$^{1}$, В. И. Возный$^{1}$, А. Н. Бугай$^{1}$, А. Ю. Девизенко$^{2}$

$^{1}$Институт прикладной физики НАН Украины, ул. Петропавловская, 58, 40000 Сумы, Украина
$^{2}$Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичёва, 21, 61002 Харьков, Украина

Получена: 10.05.2016. Скачать: PDF

Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]$_{10}$, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия.

Ключевые слова: многослойное периодическое покрытие, резерфордовское обратное рассеяние, малоугловая рентгеновская дифракция.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i06/0815.html

PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. Наноструктурные материалы (Ред. Р. Ханнинк, А. Хилл) (Москва: Техносфера: 2009).
  2. И. А. Журавель, Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Ю. П. Першин, В. В. Кондратенко, ФИП, 9, № 2: 134 (2011).
  3. H. B. Коваленко, С. В. Мытниченко, В. А. Чернов, Поверхность, № 1: 55 (2002).
  4. Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Е. Н. Зубарев, В. А. Севрюкова, В. В. Кондратенко, Металлофиз. новейшие технол., 30, № 11: 1533 (2008).
  5. К. Оура, В. Г. Лифшиц, А. А. Саранин, А. В. Зотов, М. Катаяма, Введение в физику поверхности (Москва: Наука: 2006).
  6. Е. А. Бугаев, ФИП, 10, № 1: 59 (2012).
  7. O. M. Buhay, A. A. Drozdenko, M. I. Zakharets, I. G. Ignat’ev, A. B. Kramchenkov, V. I. Miroshnichenko, A. G. Ponomarev, and V. E. Storizhko, Physics Procedia, 66: 166 (2015). Crossref
  8. А. А. Дрозденко, В. Л. Денисенко, А. Б. Дудник, М. И. Захарец, А. Б. Крамченков, В. В. Куприенко, Н. А. Сайко, В. Е. Сторижко, Вестник СумГУ. Серия: Физика, математика, механика, № 2: 60 (2008).
  9. А. В. Виноградов, И. А. Брытов, А. Я. Грудский, Зеркальная рентгеновская оптика (Ленинград: Машиностроение: 1989).
  10. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables, 54, No. 2: 181 (1993). Crossref
  11. J. C. Bravman and R. Sinclair, J. Electron Microscopy. Tech., 1, No. 1: 53 (1984). Crossref
  12. J. Mayer, SIMNRA User’s Guide. Report IPP 9/113 (Garching, Germany: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik: 1997).