Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання
В. М. Коломієць1, І. М. Кононенко1, С. М. Кравченко1, М. І. Захарець1, В. Ю. Сторіжко1, В. І. Возний1, О. М. Бугай1, О. Ю. Девізенко2
1Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Київ
2Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна
Отримано: 10.05.2016. Завантажити: PDF
Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]10, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття.
Ключові слова: багатошарове періодичне покриття, Резерфордове зворотнє розсіяння, малокутова рентґенівська дифракція.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i06/0815.html
PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc