Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання

В. М. Коломієць$^{1}$, І. М. Кононенко$^{1}$, С. М. Кравченко$^{1}$, М. І. Захарець$^{1}$, В. Ю. Сторіжко$^{1}$, В. І. Возний$^{1}$, О. М. Бугай$^{1}$, О. Ю. Девізенко$^{2}$

$^{1}$Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Київ
$^{2}$Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна

Отримано: 10.05.2016. Завантажити: PDF

Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]$_{10}$, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття.

Ключові слова: багатошарове періодичне покриття, Резерфордове зворотнє розсіяння, малокутова рентґенівська дифракція.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i06/0815.html

PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc


ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. Наноструктурные материалы (Ред. Р. Ханнинк, А. Хилл) (Москва: Техносфера: 2009).
  2. И. А. Журавель, Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Ю. П. Першин, В. В. Кондратенко, ФИП, 9, № 2: 134 (2011).
  3. H. B. Коваленко, С. В. Мытниченко, В. А. Чернов, Поверхность, № 1: 55 (2002).
  4. Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Е. Н. Зубарев, В. А. Севрюкова, В. В. Кондратенко, Металлофиз. новейшие технол., 30, № 11: 1533 (2008).
  5. К. Оура, В. Г. Лифшиц, А. А. Саранин, А. В. Зотов, М. Катаяма, Введение в физику поверхности (Москва: Наука: 2006).
  6. Е. А. Бугаев, ФИП, 10, № 1: 59 (2012).
  7. O. M. Buhay, A. A. Drozdenko, M. I. Zakharets, I. G. Ignat’ev, A. B. Kramchenkov, V. I. Miroshnichenko, A. G. Ponomarev, and V. E. Storizhko, Physics Procedia, 66: 166 (2015). Crossref
  8. А. А. Дрозденко, В. Л. Денисенко, А. Б. Дудник, М. И. Захарец, А. Б. Крамченков, В. В. Куприенко, Н. А. Сайко, В. Е. Сторижко, Вестник СумГУ. Серия: Физика, математика, механика, № 2: 60 (2008).
  9. А. В. Виноградов, И. А. Брытов, А. Я. Грудский, Зеркальная рентгеновская оптика (Ленинград: Машиностроение: 1989).
  10. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables, 54, No. 2: 181 (1993). Crossref
  11. J. C. Bravman and R. Sinclair, J. Electron Microscopy. Tech., 1, No. 1: 53 (1984). Crossref
  12. J. Mayer, SIMNRA User’s Guide. Report IPP 9/113 (Garching, Germany: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik: 1997).