Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання

В. М. Коломієць$^{1}$, І. М. Кононенко$^{1}$, С. М. Кравченко$^{1}$, М. І. Захарець$^{1}$, В. Ю. Сторіжко$^{1}$, В. І. Возний$^{1}$, О. М. Бугай$^{1}$, О. Ю. Девізенко$^{2}$

$^{1}$Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Київ
$^{2}$Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна

Отримано: 10.05.2016. Завантажити: PDF

Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]$_{10}$, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття.

Ключові слова: багатошарове періодичне покриття, Резерфордове зворотнє розсіяння, малокутова рентґенівська дифракція.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i06/0815.html

PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

Наноструктурные материалы (Ред. Р. Ханнинк, А. Хилл) (Москва: Техносфера: 2009).
И. А. Журавель, Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Ю. П. Першин, В. В. Кондратенко, ФИП, 9, № 2: 134 (2011).
H. B. Коваленко, С. В. Мытниченко, В. А. Чернов, Поверхность, № 1: 55 (2002).
Е. А. Бугаев, А. Ю. Девизенко, Е. Н. Зубарев, В. А. Севрюкова, В. В. Кондратенко, Металлофиз. новейшие технол., 30, № 11: 1533 (2008).
К. Оура, В. Г. Лифшиц, А. А. Саранин, А. В. Зотов, М. Катаяма, Введение в физику поверхности (Москва: Наука: 2006).
Е. А. Бугаев, ФИП, 10, № 1: 59 (2012).
O. M. Buhay, A. A. Drozdenko, M. I. Zakharets, I. G. Ignat’ev, A. B. Kramchenkov, V. I. Miroshnichenko, A. G. Ponomarev, and V. E. Storizhko, Physics Procedia, 66: 166 (2015). Crossref
А. А. Дрозденко, В. Л. Денисенко, А. Б. Дудник, М. И. Захарец, А. Б. Крамченков, В. В. Куприенко, Н. А. Сайко, В. Е. Сторижко, Вестник СумГУ. Серия: Физика, математика, механика, № 2: 60 (2008).
А. В. Виноградов, И. А. Брытов, А. Я. Грудский, Зеркальная рентгеновская оптика (Ленинград: Машиностроение: 1989).
B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables, 54, No. 2: 181 (1993). Crossref
J. C. Bravman and R. Sinclair, J. Electron Microscopy. Tech., 1, No. 1: 53 (1984). Crossref
J. Mayer, SIMNRA User’s Guide. Report IPP 9/113 (Garching, Germany: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik: 1997).