Методами рентгеновской дифрактометрии исследованы особенности роста многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) Zr/Mg, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что МРЗ Zr/Mg благодаря высокой степени периодичности слоёв и малому несоответствию параметров их кристаллических решёток в 1,2% когерентно рассеивают рентгеновское излучение с $\lambda$ = 0,154 нм. В данной работе впервые была использована обработка и анализ данных когерентного рассеяния для описания особенностей формирования зеркал. Полученные результаты в сочетании с данными малоугловой рентгеновской дифракции позволили установить диапазон толщин слоёв магния (до $\cong$ 4,8–5,2 нм), в котором плёнка является несплошной. Показано, что МРЗ Zr/Mg с толщинами слоёв Mg более 5,2 нм имеют малую межслоевую шероховатость ($\sigma \cong$ 0,4 нм) и способны обеспечить высокую отражательную способность в диапазоне длин волн 25–35 нм.