У роботі рентґеноструктурними методами досліджено особливості росту багатошарових рентґенівських дзеркал (БРД) Zr/Mg, виготовлених методою прямоструминного магнетронного розпорошення. На рентґенівській дифрактограмі від БРД Zr/Mg спостерігається когерентне розсіяння Рентґенового випромінення з $\lambda$ = 0,154 нм, яке забезпечується епітаксіяльним ростом шарів Mg та Zr та малою невідповідністю параметрів їхніх кристалічних ґратниць у 1,2%. У даній роботі вперше було використано оброблення й аналізу даних когерентного розсіяння у поєднанні з малокутовою рентґенівською дифракцією, що уможливило встановити інтервал товщин шарів маґнію (до $\cong$ 4,8–5,2 нм), де плівка є несуцільною. Показано, що БРД Zr/Mg з товщинами шарів Mg, більшими за 5,2 нм, мають малу міжшарову шерсткість ($\sigma \cong$ 0,4 нм) і здатні забезпечити високу відбивну здатність у діяпазоні довжин хвиль 25–35 нм.