Выпуски МФиНТ »  Том 41, выпуск 1

Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях

И. А. Круглов, И. Е. Котенко, В. А. Грищенко, С. И. Сидоренко, С. М. Волошко

Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина

Получена: 11.09.2018. Скачать: PDF

Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плазменной обработки. Низкоэнергетическое ионное воздействие позволяет также стабилизировать нанокристаллическую структуру путём торможения процессов рекристаллизации и таким образом повысить термическую стабильность рабочих плёночных элементов микро- и наноэлектронных устройств.

Ключевые слова: наноразмерная система, ионно-плазменная обработка, отжиг, оксидообразование, микроструктура.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v41/i01/0001.html

PACS: 61.80.Jh, 64.70.kd, 68.35.Rh, 81.40.Ef, 81.40.Wx, 81.65.Mq

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. И. И. Климачев, Ю. Н. Калашников, С. И. Сидоренко, Т. В. Литвинова, В. А. Иовдальский, Электродинамика и техника СВЧ, КВЧ и оптических частот, 1–4: 47 (2004).
  2. J. Yuan, W. Weng, and Z. L. T. Guo, J. Phys. Chem. Solids, 70, No. 12: 1496 (2009). Crossref
  3. T. P. Harzer, S. Djaziri, R. Raghavan, and G. Dehm, Acta Mater., 83: 318 (2015) Crossref
  4. D. McIntyre, J. E. Sundgren, and J. E. Greene, J. Appl. Phys., 64, No. 7: 3689 (1988). Crossref
  5. M. О. Vasylyev, S. І. Sidorenko, S. М. Voloshko, and T. Ishikawa, Usp. Fiz. Met., 17: 209 (2016). Crossref
  6. А. К. Орлов, І. О. Круглов, І. Є. Котенко, С. І. Сидоренко, С. М. Волошко, Металлофиз. новейшие технол., 39, № 3: 349 (2017). Crossref
  7. S. K. Parida, V. R. R. Medicherla, D. K. Mishra, S. Choudhary, V. Solanki, and Sh. Varma, Bull. Mater. Sci., 37, No. 7: 1569 (2014). Crossref
  8. H. Lee and S. W. Cho, Appl. Sci. Converg. Technol., 25, No. 6: 128 (2016). Crossref
  9. N. V. Alov and D. M. Kutsko, J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech., 5: 259 (2011). Crossref
  10. T. Kubart, T. Nyberg, and S. Berg, J. Phys. D: Appl. Phys., 43, No. 20: 1 (2010). Crossref
  11. К. К. Кадыржанов, Ф. Ф. Комаров, А. Д. Погребняк, В. С. Русаков, Т. Э. Туркебаев, Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов (Москва: МГУ: 2005).
  12. C. Lin, G. W. Yang, Z. F. Li, and B. X. Liu, Mater. Lett., 42, Nos. 1–2: 7 (2000). Crossref
  13. V. Dufek, F. Petrů, and V. Brožek, Monatshefte für Chemie und Verwandte Teile anderer Wissenschaften, 98, No. 6: 2424 (1967).

© 2013–2019 «ИМФ НАН Украины»