Структурно-фазові перетворення в нанорозмірній системі Cu/Cr за термічного та йонного впливів

І. О. Круглов, І. Є. Котенко, В. О. Грищенко, С. І. Сидоренко, С. М. Волошко

Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна

Отримано: 11.09.2018. Завантажити: PDF

Досліджено особливості формування структури та фазового складу системи Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при відпалі у вакуумі в широкому температурному інтервалі. Зафіксовано розвиток окиснювально-відновних процесів, які можна ефективно контролювати шляхом використання додаткового йонно-плазмового оброблення. Низькоенергетичний йонний вплив уможливлює також стабілізувати нанокристалічну структуру шляхом гальмування процесів рекристалізації і таким чином підвищити термічну стабільність робочих плівкових елементів мікро- та наноелектронних пристроїв.

Ключові слова: нанорозмірна система, йонно-плазмове оброблення, відпал, оксидоутворення, мікроструктура.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v41/i01/0001.html

PACS: 61.80.Jh, 64.70.kd, 68.35.Rh, 81.40.Ef, 81.40.Wx, 81.65.Mq

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

И. И. Климачев, Ю. Н. Калашников, С. И. Сидоренко, Т. В. Литвинова, В. А. Иовдальский, Электродинамика и техника СВЧ, КВЧ и оптических частот, 1–4: 47 (2004).
J. Yuan, W. Weng, and Z. L. T. Guo, J. Phys. Chem. Solids, 70, No. 12: 1496 (2009). Crossref
T. P. Harzer, S. Djaziri, R. Raghavan, and G. Dehm, Acta Mater., 83: 318 (2015) Crossref
D. McIntyre, J. E. Sundgren, and J. E. Greene, J. Appl. Phys., 64, No. 7: 3689 (1988). Crossref
M. О. Vasylyev, S. І. Sidorenko, S. М. Voloshko, and T. Ishikawa, Usp. Fiz. Met., 17: 209 (2016). Crossref
А. К. Орлов, І. О. Круглов, І. Є. Котенко, С. І. Сидоренко, С. М. Волошко, Металлофиз. новейшие технол., 39, № 3: 349 (2017). Crossref
S. K. Parida, V. R. R. Medicherla, D. K. Mishra, S. Choudhary, V. Solanki, and Sh. Varma, Bull. Mater. Sci., 37, No. 7: 1569 (2014). Crossref
H. Lee and S. W. Cho, Appl. Sci. Converg. Technol., 25, No. 6: 128 (2016). Crossref
N. V. Alov and D. M. Kutsko, J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech., 5: 259 (2011). Crossref
T. Kubart, T. Nyberg, and S. Berg, J. Phys. D: Appl. Phys., 43, No. 20: 1 (2010). Crossref
К. К. Кадыржанов, Ф. Ф. Комаров, А. Д. Погребняк, В. С. Русаков, Т. Э. Туркебаев, Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов (Москва: МГУ: 2005).
C. Lin, G. W. Yang, Z. F. Li, and B. X. Liu, Mater. Lett., 42, Nos. 1–2: 7 (2000). Crossref
V. Dufek, F. Petrů, and V. Brožek, Monatshefte für Chemie und Verwandte Teile anderer Wissenschaften, 98, No. 6: 2424 (1967).