Тонкие плёнки оксида индия-олова (ОИO), легированные железом со сниженным до 50% масс. содержанием оксида индия, осаждались на стеклянные подложки, предварительно нагретые при 523 К, путём совместного напыления мишеней ОИO и Fe$_2$O$_3$ в смешанной атмосфере аргон-кислород. Влияние разных мощностей высокочастотного напыления Fe$_2$O$_3$ мишени на электрические, оптические, структурные и морфологические свойства плёнок было исследовано с помощью четырёхточечного метода, ультрафиолетовой–видимой–инфракрасной (УФ–Вид–ИК) спектроскопии, рентгеновской дифракции и атомной силовой спектроскопии. Объёмное сопротивление порядка 930 мкОм$\cdot$см и пропускание выше 85% получены для плёнок, осаждённых при оптимальных условиях. Легирование железом приводит к заметному увеличению пропускания света видимой части спектра и повышает температуру кристаллизации тонких плёнок ОИO.