Влияние мощности распыления на оптоэлектронные свойства легированных железом индийсберегающих плёнок оксида индия-олова
М. Охтсука$^{1}$, Р. Сергиенко$^{2}$, С. Петровская$^{3}$, Б. Илькив$^{3}$, Т. Накамура$^{1}$
$^{1}$Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2 Chome-1-1 Katahira, Aoba Ward, Sendai, Miyagi 980-0812, Japan
$^{2}$Физико-технологический институт металлов и сплавов НАН Украины, бульв. Академика Вернадского, 34/1, 03142 Киев, Украина
$^{3}$Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина
Получена: 22.10.2018; окончательный вариант - 12.02.2019. Скачать: PDF
Тонкие плёнки оксида индия-олова (ОИO), легированные железом со сниженным до 50% масс. содержанием оксида индия, осаждались на стеклянные подложки, предварительно нагретые при 523 К, путём совместного напыления мишеней ОИO и Fe$_2$O$_3$ в смешанной атмосфере аргон-кислород. Влияние разных мощностей высокочастотного напыления Fe$_2$O$_3$ мишени на электрические, оптические, структурные и морфологические свойства плёнок было исследовано с помощью четырёхточечного метода, ультрафиолетовой–видимой–инфракрасной (УФ–Вид–ИК) спектроскопии, рентгеновской дифракции и атомной силовой спектроскопии. Объёмное сопротивление порядка 930 мкОм$\cdot$см и пропускание выше 85% получены для плёнок, осаждённых при оптимальных условиях. Легирование железом приводит к заметному увеличению пропускания света видимой части спектра и повышает температуру кристаллизации тонких плёнок ОИO.
Ключевые слова: легированный железом оксид индия-олова, электрические свойства, оптические свойства, магнетронное распыление на постоянном токе, высокочастотное напыление.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v41/i07/0941.html
PACS: 61.05.cp, 68.37.Ps, 68.55.J-, 73.61.At, 78.66.Bz, 81.15.Cd