Вплив потужності розпорошення на оптоелектронні властивості легованих залізом індійзберігаючих плівок оксиду індію-олова
М. Охтсука1, Р. Сергієнко2, С. Петровська3, Б. Ільків3, Т. Накамура1
1Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2 Chome-1-1 Katahira, Aoba Ward, Sendai, Miyagi 980-0812, Japan
2Фізико-технологічний інститут металів та сплавів НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 34/1, 03142 Київ, Україна
3Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, вул. Академіка Кржижановського, 3, 03142 Київ, Україна
Отримано: 22.10.2018; остаточний варіант - 12.02.2019. Завантажити: PDF
Тонкі плівки оксиду індію-олова (ОІО), леговані залізом зі зниженим до 50% мас. вмістом оксиду індію, осаджувалися на скляні підкладки, попередньо нагріті при 523 К, шляхом одночасного напорошення мішеней ОIO і Fe2O3 у змішаній атмосфері аргон-кисень. Вплив різних потужностей високочастотного напорошення мішені Fe2O3 на електричні, оптичні, структурні і морфологічні властивості плівок досліджено за допомогою чотирьохточкового методу, ультрафіолетової–видимої–інфрачервоної (УФ–Вид–ІЧ) спектроскопії, рентґенівської дифракції і атомної силової спектроскопії. Об’ємний опір порядку 930 мкОм⋅см і пропускання вище 85% отримано для плівок, осаджених за оптимальних умов. Легування залізом призводить до помітного збільшення пропускання світла видимої частини спектра і підвищує температуру кристалізації тонких плівок ОIO.
Ключові слова: легований залізом оксид індію-олова, електричні властивості, оптичні властивості, магнетронне розпилення на постійному струмі, високочастотне напорошення.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v41/i07/0941.html
PACS: 61.05.cp, 68.37.Ps, 68.55.J-, 73.61.At, 78.66.Bz, 81.15.Cd