Адсорбционная способность металлических тонких плёнок после бомбардировки ионами Ar$^{+}$ низких энергий

М. А. Васильев, С. И. Сидоренко, И. А. Круглов, Д. И. Трубчанинова

Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина

Получена: 02.10.2019. Скачать: PDF

В данной работе методом вторичной ионно-ионной эмиссии исследована кинетика распыления адсорбированных слоёв кислорода, полученных на очищенной ионным пучком поверхности тонких металлических плёнок Nb, Ti, Fe, Ni и Cu толщиной 100 нм в широком диапазоне доз облучения ионами Ar$^{+}$ с энергией 4 кэВ. Установлены закономерности изменения адсорбционной способности поверхности после длительной бомбардировки в зависимости от природы металла. Предложен механизм эффекта пассивации поверхности плёнок в результате указанной обработки.

Ключевые слова: вторично ионно-ионная эмиссия, тонкие плёнки, ионная бомбардировка, окисление, адсорбция.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v42/i05/0621.html

PACS: 52.40.Fd, 61.80.Lj, 68.49.Df, 68.35.Iv, 68.35.Np, 75.70.Rf


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. М. Б. Гусева, Соросовский образовательный журнал, № 10: 106 (1998).
  2. A. J. R. van den Boogaard, E. Zoethout, I. A. Makhotkin, E. Louis, and F. Bijkerk, J. Appl. Phys., 112: 123502 (2012). Crossref
  3. S. Zuccon, E. Napolitani, E. Tessarolo, P. Zuppella, A. J. Corso, F. Gerlin, M. Nardello, and M. G. Pelizzo, Opt. Mater. Express, 5: 176 (2014). Crossref
  4. X. Li, K.-W. Lin, H.-T. Liang, H.-F. Hsu, N. G. Galkin, Y. Wroczynskyj, J. van Lierop, and P. W. T. Pong, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B, 365: 196 (2015). Crossref
  5. L. Repetto, R. Lo Savio, B. Šetina Batic, G. Firpo, and U. Valbusa, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B, 354: 28 (2015). Crossref
  6. M. А. Vasylyev, S. I. Sidorenko, S. M. Voloshko, and T. Ishikawa, Успехи физики металлов, 17: 209 (2016). Crossref
  7. В. Т. Черепин, М. А. Васильев, Вторичная ионно-ионная эмиссия металлов и сплавов (Киев: Наукова думка: 1975).
  8. С. А. Andеrsеn, Intern. Ј. Mass. Spectrom. Ion. Phys., 3: 413 (1970). Crossref
  9. A. Benninghoven, Surface Sci., 35: 427 (1973). Crossref
  10. E. Stumpe and A. Benninghoven, phys. status solidi (a), 21: 479 (1974). Crossref
  11. A. Müller and A. Benninghoven, Surface Sci., 41: 493 (1974). Crossref
  12. V. T. Cherepin, A. A. Kosyachkov, and M. A. Vasilyev, Surface Sci., 58: 609 (1976). Crossref
  13. Я. Д. Коган, Б. А Колачев, Ю. В. Ливинский, О. П. Назимов, А. В. Фишгойт, Константы взаимодействия металлов с газами (Москва: Металлургия: 1987).
  14. H. Oechsner, W. Rühe, and E. Stumpe, Surface Sci., 85: 289 (1979). Crossref
  15. А. Б. Нейдинг, В. Б. Соколов, Усп. хим., 43: 2146 (1974).
  16. J. Holloway, J. Fluorine Chemistry, 33: 149 (1986). Crossref
  17. Соединения благородных газов (Под ред. М. Ф. Пушленкова) (Москва: Атомиздат: 1965).