Адсорбційна здатність поверхні металевих тонких плівок після бомбардування йонами Ar+ низьких енергій
М. О. Васильєв, С. І. Сидоренко, І. О. Круглов, Д. І. Трубчанінова
Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
Отримано: 02.10.2019. Завантажити: PDF
У даній роботі методом вторинної йонно-йонної емісії проаналізовано кінетику розпорошення адсорбованих шарів кисню, що одержані на очищеній йонним пучком поверхні тонких металевих плівок Nb, Ti, Fe, Ni і Cu товщиною 100 нм в широкому діапазоні доз опромінення йонами Ar+ з енергією 4 кеВ. Встановлено закономірності зміни адсорбційної здатності поверхні після тривалого бомбардування в залежності від природи металу. Запропоновано механізм ефекту пасивації поверхні плівок в результаті зазначеної обробки.
Ключові слова: вторинно йонно-йонна емісія, тонкі плівки, йонне бомбардування, окиснення, адсорбція.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v42/i05/0621.html
PACS: 52.40.Fd, 61.80.Lj, 68.49.Df, 68.35.Iv, 68.35.Np, 75.70.Rf