Выпуски МФиНТ »  Том 42, выпуск 6

Влияние энергетических факторов на структуру и субструктуру плёнок диборида гафния, полученных ВЧ-магнетронным распылением

А. А. Гончаров$^{1}$, А. В. Зыков$^{2}$, А. Н. Юнда$^{1}$, И. В. Шелест$^{1}$, В. В. Буранич$^{1}$

$^{1}$Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина
$^{2}$Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина, пл. Свободы, 4, 61022 Харьков, Украина

Получена: 04.09.2019; окончательный вариант - 17.12.2019. Скачать: PDF

В работе проведен анализ влияния энергетических факторов, таких как потенциал смещения, подаваемый на подложку, плотность ионного тока на подложку и скорость осаждения, на формирование структуры и субструктуры плёнок диборида гафния, полученных ВЧ-магнетронным распылением. Показано, что структурные изменения от квазиаморфного состояния до нанокристаллического с текстурой роста происходят вследствие изменения энергетических факторов.

Ключевые слова: магнетронное распыление, параметры осаждения, структура, субструктура, плёнка диборида гафния.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v42/i06/0815.html

PACS: 61.46.-w, 62.25.Mn, 68.55.jm, 68.55.Nq, 81.07.Bc, 81.15.Cd

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. A. A. Goncharov, S. N. Dub, A.V. Agulov, and V. V. Petukhov, J. Superhard Mater., 37, No. 6: 422 (2015). Crossref
  2. A. A. Goncharov, A. N. Yunda, H. Komsta, and Rogalski, Acta Phys. Pol. A, 132, No. 2: 270 (2017). Crossref
  3. M. Mikula, B. Grančič, T. Roch, T. Plecenik, I. Vávra, E. Dobročka, A. Šatka, V. Buršíková, M. Držík, M. Zahoran, A. Plecenik, and Kúš, Vacuum, 85, No. 9: 866 (2011). Crossref
  4. J. Musil, J. Šícha, D. Heřman, and R. Čerstvý, J. Vac. Sci. Technol. A, 2, No. 4: 666 (2007). Crossref
  5. J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol., 11, No. 4: 666 (1974). Crossref
  6. C. Mitterer, P. H. Mayrhofer, E. Kelesoglu, R. Wiedemann, and H. Oettel, Metallkd., 90, No. 8: 602 (1999).
  7. I. Petrov, P. B. Barna, L. Hultman, and J. E. Greene, J. Vac. Sci. Technol. A, 21, No. 5: S117 (2003). Crossref
  8. J. Musil, M. Jaroš, R. Čerstvý, and S. Haviar, J. Vac. Sci. Technol. A, 35, No. 2: 020601 (2017). Crossref
  9. J. Musil and M. Jaroš, J. Vac. Sci. Technol. A, 35, No. 6: 060605 (2017). Crossref
  10. J. Musil and S. Kadlec, Vacuum, 40, No. 50: 435 (1990). Crossref
  11. J. W. Coburn and E. Kay, J. Appl. Phys., 43, No. 12: 4965 (1972). Crossref
  12. B. Window and N. Savvides, J. Vac. Sci. Technol. A, 4, No. 2: 196 (1986). Crossref
  13. K. Ellmer, J. Phys. D: Appl. Phys., 33, No. 4: R17 (2000). Crossref
  14. A. A. Goncharov, V. A. Konovalov, G. K. Volkova, and V. A. Stupak, Phys. Met. Metallogr., 108, No. 4: 368 (2009). Crossref
  15. A. V. Agulov, A. A. Goncharov, V. A. Stupak, and V. V. Petukhov, Inorg. Mater., 50, No. 5: 460 (2014). Crossref
  16. S. S. Gorelik, Yu. A. Skakov, and L. N. Rastorguev, Rentgenograficheskiy i Elektronno-Opticheskiy Analiz [X-Ray Diffraction and Electron-Optical Analysis] (Moscow: MISIS: 2002) (in Russian).
  17. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res., 7, No. 6: 1564 (1992). Crossref
  18. A. A. Goncharov, S. N. Dub, and A. V. Agulov, Phys. Met. Metallogr., 14, No. 1: 95 (2013). Crossref
  19. A. A. Goncharov, Phys. Met. Metallogr., 111, No. 3: 314 (2011). Crossref

Лицензия Creative Commons
Эта статья доступна по Лицензии Creative Commons “Attribution-NoDerivatives” («атрибуция — без производных статей») 4.0 Всемирная
© 2000–2020 «Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины»