Випуски МФіНТ »  Том 42, випуск 6

Вплив енергетичних факторів на структуру та субструктуру плівок диборида гафнію, отриманих ВЧ-магнетронним розпорошенням

О. А. Гончаров$^{1}$, О. В. Зиков$^{2}$, А. М. Юнда$^{1}$, І. В. Шелест$^{1}$, В. В. Буранич$^{1}$

$^{1}$Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна
$^{2}$Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, пл. Свободи, 4, 61022 Харків, Україна

Отримано: 04.09.2019; остаточний варіант - 17.12.2019. Завантажити: PDF

В роботі проведено аналіз впливу енергетичних факторів, таких як потенціал зсуву, що подається на підкладку, густина йонного струму на підкладку і швидкість осадження, на формування структури та субструктури плівок диборида гафнію, отриманих ВЧ-магнетронним розпорошенням. Показано, що структурні зміни від квазиаморфного стану до нанокристалічного з текстурою зростання відбуваються внаслідок змін енергетичних факторів.

Ключові слова: магнетронне розпорошення, параметри осадження, структура, субструктура, плівка дибориду гафнію.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v42/i06/0815.html

PACS: 61.46.-w, 62.25.Mn, 68.55.jm, 68.55.Nq, 81.07.Bc, 81.15.Cd

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. A. A. Goncharov, S. N. Dub, A.V. Agulov, and V. V. Petukhov, J. Superhard Mater., 37, No. 6: 422 (2015). Crossref
  2. A. A. Goncharov, A. N. Yunda, H. Komsta, and Rogalski, Acta Phys. Pol. A, 132, No. 2: 270 (2017). Crossref
  3. M. Mikula, B. Grančič, T. Roch, T. Plecenik, I. Vávra, E. Dobročka, A. Šatka, V. Buršíková, M. Držík, M. Zahoran, A. Plecenik, and Kúš, Vacuum, 85, No. 9: 866 (2011). Crossref
  4. J. Musil, J. Šícha, D. Heřman, and R. Čerstvý, J. Vac. Sci. Technol. A, 2, No. 4: 666 (2007). Crossref
  5. J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol., 11, No. 4: 666 (1974). Crossref
  6. C. Mitterer, P. H. Mayrhofer, E. Kelesoglu, R. Wiedemann, and H. Oettel, Metallkd., 90, No. 8: 602 (1999).
  7. I. Petrov, P. B. Barna, L. Hultman, and J. E. Greene, J. Vac. Sci. Technol. A, 21, No. 5: S117 (2003). Crossref
  8. J. Musil, M. Jaroš, R. Čerstvý, and S. Haviar, J. Vac. Sci. Technol. A, 35, No. 2: 020601 (2017). Crossref
  9. J. Musil and M. Jaroš, J. Vac. Sci. Technol. A, 35, No. 6: 060605 (2017). Crossref
  10. J. Musil and S. Kadlec, Vacuum, 40, No. 50: 435 (1990). Crossref
  11. J. W. Coburn and E. Kay, J. Appl. Phys., 43, No. 12: 4965 (1972). Crossref
  12. B. Window and N. Savvides, J. Vac. Sci. Technol. A, 4, No. 2: 196 (1986). Crossref
  13. K. Ellmer, J. Phys. D: Appl. Phys., 33, No. 4: R17 (2000). Crossref
  14. A. A. Goncharov, V. A. Konovalov, G. K. Volkova, and V. A. Stupak, Phys. Met. Metallogr., 108, No. 4: 368 (2009). Crossref
  15. A. V. Agulov, A. A. Goncharov, V. A. Stupak, and V. V. Petukhov, Inorg. Mater., 50, No. 5: 460 (2014). Crossref
  16. S. S. Gorelik, Yu. A. Skakov, and L. N. Rastorguev, Rentgenograficheskiy i Elektronno-Opticheskiy Analiz [X-Ray Diffraction and Electron-Optical Analysis] (Moscow: MISIS: 2002) (in Russian).
  17. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res., 7, No. 6: 1564 (1992). Crossref
  18. A. A. Goncharov, S. N. Dub, and A. V. Agulov, Phys. Met. Metallogr., 14, No. 1: 95 (2013). Crossref
  19. A. A. Goncharov, Phys. Met. Metallogr., 111, No. 3: 314 (2011). Crossref

Ліцензія Creative Commons
Цю статтю ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна
© 2000–2020 «Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України»