Исследовано влияние режима термостастабилизации в пределах первой температурной зоны формирования плёнок модели температурных зон Мовчана–Демчишина на структуру и электропроводность плёнок серебра, меди и золота, сформированных в условиях сверхвысокого вакуума методом замороженной конденсации пара термически испарённого металла на аморфные диэлектрические подложки, предварительно покрытые подслоями германия субатомной толщины. Подтверждена возможность плавного управления средними линейными размерами кристаллитов в конденсате металла, путём совместного использования сурфактантного подслоя вещества (германия), который противодействует коалесценции зародышей кристаллизации металла, и выбора режима термостабилизации плёнки. Реализовано теоретическое описание размерных зависимостей электропроводности плёнок с помощью созданных теоретических моделей.