Досліджено вплив режиму термостастабілізації у межах першої температурної зони формування плівок моделі температурних зон Мовчана–Демчишина на структуру та електропровідність плівок срібла, міді та золота, сформованих в умовах надвисокого вакууму методом замороженої конденсації пари термічно випаровуваного металу на аморфні діелектричні підложжя, попередньо покриті підшарами ґерманію субатомної товщини. Підтверджено можливість плавного керування середніми лінійними розмірами кристалітів у конденсаті металу шляхом сумісного використання сурфактантного підшару речовини (ґерманію), яка протидіє коалесценції зародків кристалізації металу, та вибору режиму термостабілізації плівки. Реалізовано теоретичний опис розмірних залежностей електропровідності плівок за допомогою створених теоретичних моделей.