Апробация электронно-лучевого нанесения покрытий из монокарбида NiC

О. И. Наконечная$^{1}$, М. Г. Душейко$^{2}$, Н. Н. Белявина$^{1}$, А. М. Курилюк$^{1}$, А. C. Осипов$^{3}$

$^{1}$Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 60, 01033 Киев, Украина
$^{2}$Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина
$^{3}$Институт сверхтвёрдых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 04074 Киев, Украина

Получена: 22.01.2020; окончательный вариант - 29.10.2020. Скачать: PDF

Наноразмерный порошок монокарбида NiC получен методом механохимической обработки двух эквиатомных смесей Ni–углеродной нанотрубки и Ni–графита в высокоэнергетической планетарной шаровой мельнице. Показано, что кристаллическая структура этого карбида представляет собой модифицированную структуру типа ZnS сфалерит. Полученный порошок карбида NiC был скомпактирован методом холодного прессования под давлением 0,2 ГПа, а полученный при этом материал был использован для электронно-лучевого нанесения тонких покрытий на подложки из пластин кремния или плавленого стекла. Изучен фазовый состав полученных покрытий как в исходном состоянии, так и после их отжига до 900°С. Показано, что ступенчатый отжиг на воздухе до 900°С не приводит к растрескиванию или отшелушиванию изготовленных покрытий от подложки.

Ключевые слова: NiC монокарбид, механическое легирование, электронно-лучевая технология, тонкая плёнка, рентгеновская дифракция.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v42/i12/1659.html

PACS: 61.05.cp, 61.43.Gt, 68.35.Np, 81.05.Je, 81.20.Ev, 81.15.Jj


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. T. Ujvári, A. Tóth, G. J. Kovács, G. Sáfrán, O. Geszti, G. Radnóczi, and I. Bertóti, Surf. Interface Analysis, 36, No. 8: 760 (2004). Crossref
  2. H. Li, L. Guan, Y. Zhao, Z. Xu, J. Sun, J. Wu, and N. Xu, Mater. Lett., 145: 291 (2015). Crossref
  3. G. Radnóczi, Gy. J. Kovács, G. Sáfrán, K. Sedlácková, O. Geszti, T. Ujvári, and I. Bertóti, Metallic Materials with High Structural Efficiency (Eds. O. N. Senkov, D. B. Miracle, and S. A. Firstov) (Dordrecht: Springer: 2004), p. 101. Crossref
  4. Z. C. Hong and S. T. Shiue, Thin Solid Films, 618: 21 (2016). Crossref
  5. O. I. Nakonechna, N. N. Belyavina, M. M. Dashevskyi, A. M. Kuryliuk, and V. A. Makara, Dopov. Nac. Akad. Nauk Ukr., No. 4: 50 (2019) (in Ukrainian). Crossref
  6. V. K. Portnoi, A. V. Leonov, S. N. Mudretsova, and S. A. Fedotov, Phys. Metals Metallogr., 109, No 2: 153 (2010). Crossref
  7. M. Dashevskyi, O. Boshko, O. Nakonechna, and N. Belyavina, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 39, No. 4: 541 (2017). Crossref
  8. M. Braic, M. Balaceanu, A. C. Parau, M. Dinu, and A. Vladescu, Vacuum, 120: 60 (2015). Crossref
  9. H. Jiao, C. Yu, Z. Zhang, W. Li, Q. Huang, H. Chen, and Z. Wang, Vacuum, 155: 49 (2018). Crossref
  10. M. Khadem, O. V. Penkov, H. K. Yang, and D. E. Kim, Friction, 5, No. 3: 248 (2017). Crossref
  11. O. I. Nakonechna, M. M. Dashevskyi, O. I. Boshko, V. V. Zavodyanny, and N. N. Belyavina, Prog. Phys. Metals, 20, No. 1: 5 (2019). Crossref