Апробация электронно-лучевого нанесения покрытий из монокарбида NiC
О. И. Наконечная$^{1}$, М. Г. Душейко$^{2}$, Н. Н. Белявина$^{1}$, А. М. Курилюк$^{1}$, А. C. Осипов$^{3}$
$^{1}$Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 60, 01033 Киев, Украина
$^{2}$Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина
$^{3}$Институт сверхтвёрдых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 04074 Киев, Украина
Получена: 22.01.2020; окончательный вариант - 29.10.2020. Скачать: PDF
Наноразмерный порошок монокарбида NiC получен методом механохимической обработки двух эквиатомных смесей Ni–углеродной нанотрубки и Ni–графита в высокоэнергетической планетарной шаровой мельнице. Показано, что кристаллическая структура этого карбида представляет собой модифицированную структуру типа ZnS сфалерит. Полученный порошок карбида NiC был скомпактирован методом холодного прессования под давлением 0,2 ГПа, а полученный при этом материал был использован для электронно-лучевого нанесения тонких покрытий на подложки из пластин кремния или плавленого стекла. Изучен фазовый состав полученных покрытий как в исходном состоянии, так и после их отжига до 900°С. Показано, что ступенчатый отжиг на воздухе до 900°С не приводит к растрескиванию или отшелушиванию изготовленных покрытий от подложки.
Ключевые слова: NiC монокарбид, механическое легирование, электронно-лучевая технология, тонкая плёнка, рентгеновская дифракция.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v42/i12/1659.html
PACS: 61.05.cp, 61.43.Gt, 68.35.Np, 81.05.Je, 81.20.Ev, 81.15.Jj