Апробация электронно-лучевого нанесения покрытий из монокарбида NiC
О. И. Наконечная1, М. Г. Душейко2, Н. Н. Белявина1, А. М. Курилюк1, А. C. Осипов3
1Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 60, 01033 Киев, Украина
2Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина
3Институт сверхтвёрдых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 04074 Киев, Украина
Получена: 22.01.2020; окончательный вариант - 29.10.2020. Скачать: PDF
Наноразмерный порошок монокарбида NiC получен методом механохимической обработки двух эквиатомных смесей Ni–углеродной нанотрубки и Ni–графита в высокоэнергетической планетарной шаровой мельнице. Показано, что кристаллическая структура этого карбида представляет собой модифицированную структуру типа ZnS сфалерит. Полученный порошок карбида NiC был скомпактирован методом холодного прессования под давлением 0,2 ГПа, а полученный при этом материал был использован для электронно-лучевого нанесения тонких покрытий на подложки из пластин кремния или плавленого стекла. Изучен фазовый состав полученных покрытий как в исходном состоянии, так и после их отжига до 900°С. Показано, что ступенчатый отжиг на воздухе до 900°С не приводит к растрескиванию или отшелушиванию изготовленных покрытий от подложки.
Ключевые слова: NiC монокарбид, механическое легирование, электронно-лучевая технология, тонкая плёнка, рентгеновская дифракция.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v42/i12/1659.html
PACS: 61.05.cp, 61.43.Gt, 68.35.Np, 81.05.Je, 81.20.Ev, 81.15.Jj