Апробація електронно-променевого нанесення покриттів з монокарбіду NiC
О. І. Наконечна$^{1}$, М. Г. Душейко$^{2}$, Н. М. Білявина$^{1}$, А. М. Курилюк$^{1}$, О. C. Осіпов$^{3}$
$^{1}$Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 60, 01033 Київ, Україна
$^{2}$Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
$^{3}$Інститут надтвердих матеріалів ім. В. М. Бакуля НАН України, вул. Автозаводська, 2, 04074 Київ, Україна
Отримано: 22.01.2020; остаточний варіант - 29.10.2020. Завантажити: PDF
Нанорозмірний порошок монокарбіду NiC одержано методом механохемічної обробки двох еквіатомних сумішей Ni–ВНТ та Ni–графіту у високоенергетичному планетарному кульовому млині. Показано, що кристалічна структура цього карбіду є модифікованою структурою типу ZnS сфалерит. Одержаний порошок карбіду NiC був скомпактований методом холодного пресування під тиском 0,2 ГПа, а одержаний до цього матеріял був використаний для електронно-променевого нанесення тонких покриттів на підложжя з пластин кремнію або топленого скла. Вивчено фазовий склад одержаних покриттів як у вихідному стані, так і після їх відпалу до 900°С. Показано, що ступінчастий відпал на повітрі до 900°С не веде до розтріскування або відлущення виготовлених покриттів від підложжя.
Ключові слова: NiC монокарбід, механічне леґування, електронно-променева технологія, тонка плівка, рентґенівська дифракція.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v42/i12/1659.html
PACS: 61.05.cp, 61.43.Gt, 68.35.Np, 81.05.Je, 81.20.Ev, 81.15.Jj