Апробація електронно-променевого нанесення покриттів з монокарбіду NiC
О. І. Наконечна1, М. Г. Душейко2, Н. М. Білявина1, А. М. Курилюк1, О. C. Осіпов3
1Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 60, 01033 Київ, Україна
2Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
3Інститут надтвердих матеріалів ім. В. М. Бакуля НАН України, вул. Автозаводська, 2, 04074 Київ, Україна
Отримано: 22.01.2020; остаточний варіант - 29.10.2020. Завантажити: PDF
Нанорозмірний порошок монокарбіду NiC одержано методом механохемічної обробки двох еквіатомних сумішей Ni–ВНТ та Ni–графіту у високоенергетичному планетарному кульовому млині. Показано, що кристалічна структура цього карбіду є модифікованою структурою типу ZnS сфалерит. Одержаний порошок карбіду NiC був скомпактований методом холодного пресування під тиском 0,2 ГПа, а одержаний до цього матеріял був використаний для електронно-променевого нанесення тонких покриттів на підложжя з пластин кремнію або топленого скла. Вивчено фазовий склад одержаних покриттів як у вихідному стані, так і після їх відпалу до 900°С. Показано, що ступінчастий відпал на повітрі до 900°С не веде до розтріскування або відлущення виготовлених покриттів від підложжя.
Ключові слова: NiC монокарбід, механічне леґування, електронно-променева технологія, тонка плівка, рентґенівська дифракція.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v42/i12/1659.html
PACS: 61.05.cp, 61.43.Gt, 68.35.Np, 81.05.Je, 81.20.Ev, 81.15.Jj