Предложена новая методика получения покрытий системы (CrCoNiFeTi)С при помощи ионного распыления стержня, который состоит из шайб соответствующих металлов и углерода. Элементный состав покрытий удовлетворительно согласуется с распределением различных металлов и углерода вдоль распыляемого стержня. При помощи растровой и просвечивающей электронной микроскопии, а также рентгенофазового анализа установлено, что покрытия представляют собой мелкодисперсные поликристаллы с размерами зёрен несколько нанометров. С повышением концентрации углерода примерно в пределах от 14 до 48 ат.% происходит карбидизация титана и уменьшение шероховатости поверхности покрытий, что приводит к повышению их микротвёрдости от 7 до 27 ГПа.