Система магнетронного распыления с цилиндрическим магнетроном для нанесения внутренних защитных покрытий для увеличения ресурса труб

Выпуски МФиНТ » Том 44, выпуск 2

А. И. Шкурат $^{1}$ , В. А. Батурин $^{1}$ , С. Н. Кравченко $^{1}$ , В. Н. Коломиец $^{1}$ , И. Н. Кононенко $^{1}$ , И. Г. Чижов $^{1}$ , П. Е. Самойлов $^{1}$ , Ю. А. Павленко $^{1}$ , С. А. Фирстов $^{2}$ , В. Ф. Горбань $^{2}$ , Н. И. Даниленко $^{2}$

$^{1}$ Институт прикладной физики НАН Украины, ул. Петропавловская, 58, 40000 Сумы, Украина
$^{2}$ Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина

Получена: 29.09.2019; окончательный вариант - 10.10.2021. Скачать: PDF

В работе представлена магнетронная распылительная система с цилиндрическим магнетроном, которая может быть применена для нанесения защитных покрытий внутренней поверхности труб. Существенным достоинством нашей магнетронной системы есть возможность в одном технологическом цикле проводить предварительную очистку поверхности и формирование однослойного или многослойного покрытия. Полученные с помощью системы с цилиндрическим магнетроном покрытия тантала и хрома обладают высокими физико-механическими показателями.

Ключевые слова: система магнетронного распыления, защитные покрытия, внутренняя поверхность труб, цилиндрический магнетрон, твердость покрытий.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v44/i02/0241.html

PACS: 62.20.Qp, 81.05.Bx, 81.15.Cd, 81.15.Rs

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

A. V. Krutikov and M. S. Devyat’yarov, Collection of Reports of the International Forum ‘Welding and Diagnostics’ (Nov. 25–27, 2014) (Ekaterinburg: UrFU: 2015), p. 75 (in Russian).
V. N. Nadtoka, R. V. Pankov, L. N. Deyneko, and N. V. Maslyanyy, Artilleriyskoe i Strelkovoe Vooruzhenie, No. 1: 54 (2009) (in Russian).
V. I. Perekrestov, S. N. Kravchenko, Yu. A. Kosminskaya, and I. N. Kononenko, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 33, No. 2: 211 (2011) (in Russian).
V. I. Perekrestov, Selektyvni Procesy pry Znyzhenyh Koeficijentah Kondensacii' [Selective Processes at Reduced Condensation Rates] (Thesis of Disser. for Dr. Tech. Sci.) (Kharkiv: 2006) (in Ukrainian).
E. A. Anan’eva, Razrabotka Tekhnologii Naneseniya Plazmennykh Teplozashchitnyh Pokrytiy na Malorazmernye Vnutrennie Slozhnoprofil’nye Poverkhnosti Detaley Goryachego Trakta GTD [Development of a Technology for Obtainig Plasma Heat-Shielding Coatings on Small-Sized Internal Complex-Profile Surfaces of Gas Turbine Engine Parts] (Thesis of Disser. for Cand. Tech. Sci.) (Samara: 2007) (in Russian).
O. B. Hasiy, Naukovyy Visnyk NLTU Ukrayiny, 28, No. 10: 85 (2018) (in Ukrainian). Crossref
A. N. Bebenin, V. I. Rudyy, V. N. Litovchenko, R. A. Vorob’ev, I. A. Yankitova, and T. G. Karnavskaya, Trudy Nizhegorodskogo Gosudarstvennogo Tekhnicheskogo Universiteta im. R. E. Alekseeva, 107, No. 5: 143 (2014) (in Russian).
G. V. Moskvitin, E. M. Birger, A. N. Polyakov, and G. N. Polyakova, Metalloobrabotka, 85, No. 1: 44 (2015) (in Russian).
G. V. Lepesh and E. S. Ivanova, Tekhniko-Tekhnologicheskie Problemy Servisa, 36, No.2: 7 (2016) (in Russian).
J. Alami, P. Eklund, J. M. Andersson, M. Lattemann, E. Wallin, J. Bohlmark, P. Persson, and U. Helmersson, Thin Solid Films, 515: 3434 (2007). Crossref
F. Yee, M. Wotzak, M. L. Cipollo, and K. Traszkowska, Fall News Bulletin SVC, 2004: 28 (2004).
I. Ahmad, Gun Propulsion Technology. Progress in Astronautics and Aeronautics, 109 (1988).
S. L. Lee, R. Wei, J. Lin, R. Chistyakov, D. Schmidt, M. Cipollo, F. Yee, and M. Todaro, Techn. Report ARWSB-TR-12007, April (2012).
V. N. Nadtoka, R. V. Pankov, and L. N. Deyneko, Stroitel’stvo. Materialovedenie. Mashinostroenie. Ser. Starodubovskie Chteniya, No. 58: 471 (2011) (in Russian).
M. M. Nikitin, Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov, No. 2: 27 (2011) (in Russian).
L. Mayssel and R. Gleng, Tekhnologiya Tonkikh Plenok: Spravochnik [Thin Film Technology: A Guide] (Moscow: Sovetskoe Radio: 1977) (in Russian).
S. R. Ignatovich and I. M. Zakiev, Zavodskaya Laboratoriya, 77, No. 1: 61 (2011) (in Russian).
G. Brauer, B. Szyszka, M. Vergohl, and R. Bandorf, Vacuum, 84: 12: 1354 (2010). Crossref