Система магнетронного розпорошення з циліндричним магнетроном для нанесення внутрішніх захисних покриттів для збільшення ресурсу труб
О. І. Шкурат$^{1}$, В. А. Батурін$^{1}$, С. М. Кравченко$^{1}$, В. М. Коломієць$^{1}$, І. М. Кононенко$^{1}$, І. Г. Чижов$^{1}$, П. Є. Самойлов$^{1}$, Ю. А. Павленко$^{1}$, С. О. Фірстов$^{2}$, В. Ф. Горбань$^{2}$, М. І. Даниленко$^{2}$
$^{1}$Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Україна
$^{2}$Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, вул. Академіка Кржижановського, 3, 03142 Київ, Україна
Отримано: 29.09.2019; остаточний варіант - 10.10.2021. Завантажити: PDF
У роботі представлено магнетронну розпорошувальну систему з циліндричним магнетроном, яка може бути застосована для нанесення захисних покриттів внутрішньої поверхні труб. Істотною перевагою нашої магнетронної системи є можливість в одному технологічному циклі проводити попереднє очищення поверхні і формування одношарового або багатошарового покриття. Одержані за допомогою системи з циліндричним магнетроном покриття танталу і хрому мають високі фізико-механічні показники.
Ключові слова: система магнетронного розпорошення, захисні покриття, внутрішня поверхня труб, циліндричний магнетрон, твердість покриттів.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v44/i02/0241.html
PACS: 62.20.Qp, 81.05.Bx, 81.15.Cd, 81.15.Rs