Система магнетронного розпорошення з циліндричним магнетроном для нанесення внутрішніх захисних покриттів для збільшення ресурсу труб

Випуски МФіНТ » Том 44, випуск 2

О. І. Шкурат $^{1}$ , В. А. Батурін $^{1}$ , С. М. Кравченко $^{1}$ , В. М. Коломієць $^{1}$ , І. М. Кононенко $^{1}$ , І. Г. Чижов $^{1}$ , П. Є. Самойлов $^{1}$ , Ю. А. Павленко $^{1}$ , С. О. Фірстов $^{2}$ , В. Ф. Горбань $^{2}$ , М. І. Даниленко $^{2}$

$^{1}$ Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Україна
$^{2}$ Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, вул. Академіка Кржижановського, 3, 03142 Київ, Україна

Отримано: 29.09.2019; остаточний варіант - 10.10.2021. Завантажити: PDF

У роботі представлено магнетронну розпорошувальну систему з циліндричним магнетроном, яка може бути застосована для нанесення захисних покриттів внутрішньої поверхні труб. Істотною перевагою нашої магнетронної системи є можливість в одному технологічному циклі проводити попереднє очищення поверхні і формування одношарового або багатошарового покриття. Одержані за допомогою системи з циліндричним магнетроном покриття танталу і хрому мають високі фізико-механічні показники.

Ключові слова: система магнетронного розпорошення, захисні покриття, внутрішня поверхня труб, циліндричний магнетрон, твердість покриттів.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v44/i02/0241.html

PACS: 62.20.Qp, 81.05.Bx, 81.15.Cd, 81.15.Rs

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

A. V. Krutikov and M. S. Devyat’yarov, Collection of Reports of the International Forum ‘Welding and Diagnostics’ (Nov. 25–27, 2014) (Ekaterinburg: UrFU: 2015), p. 75 (in Russian).
V. N. Nadtoka, R. V. Pankov, L. N. Deyneko, and N. V. Maslyanyy, Artilleriyskoe i Strelkovoe Vooruzhenie, No. 1: 54 (2009) (in Russian).
V. I. Perekrestov, S. N. Kravchenko, Yu. A. Kosminskaya, and I. N. Kononenko, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 33, No. 2: 211 (2011) (in Russian).
V. I. Perekrestov, Selektyvni Procesy pry Znyzhenyh Koeficijentah Kondensacii' [Selective Processes at Reduced Condensation Rates] (Thesis of Disser. for Dr. Tech. Sci.) (Kharkiv: 2006) (in Ukrainian).
E. A. Anan’eva, Razrabotka Tekhnologii Naneseniya Plazmennykh Teplozashchitnyh Pokrytiy na Malorazmernye Vnutrennie Slozhnoprofil’nye Poverkhnosti Detaley Goryachego Trakta GTD [Development of a Technology for Obtainig Plasma Heat-Shielding Coatings on Small-Sized Internal Complex-Profile Surfaces of Gas Turbine Engine Parts] (Thesis of Disser. for Cand. Tech. Sci.) (Samara: 2007) (in Russian).
O. B. Hasiy, Naukovyy Visnyk NLTU Ukrayiny, 28, No. 10: 85 (2018) (in Ukrainian). Crossref
A. N. Bebenin, V. I. Rudyy, V. N. Litovchenko, R. A. Vorob’ev, I. A. Yankitova, and T. G. Karnavskaya, Trudy Nizhegorodskogo Gosudarstvennogo Tekhnicheskogo Universiteta im. R. E. Alekseeva, 107, No. 5: 143 (2014) (in Russian).
G. V. Moskvitin, E. M. Birger, A. N. Polyakov, and G. N. Polyakova, Metalloobrabotka, 85, No. 1: 44 (2015) (in Russian).
G. V. Lepesh and E. S. Ivanova, Tekhniko-Tekhnologicheskie Problemy Servisa, 36, No.2: 7 (2016) (in Russian).
J. Alami, P. Eklund, J. M. Andersson, M. Lattemann, E. Wallin, J. Bohlmark, P. Persson, and U. Helmersson, Thin Solid Films, 515: 3434 (2007). Crossref
F. Yee, M. Wotzak, M. L. Cipollo, and K. Traszkowska, Fall News Bulletin SVC, 2004: 28 (2004).
I. Ahmad, Gun Propulsion Technology. Progress in Astronautics and Aeronautics, 109 (1988).
S. L. Lee, R. Wei, J. Lin, R. Chistyakov, D. Schmidt, M. Cipollo, F. Yee, and M. Todaro, Techn. Report ARWSB-TR-12007, April (2012).
V. N. Nadtoka, R. V. Pankov, and L. N. Deyneko, Stroitel’stvo. Materialovedenie. Mashinostroenie. Ser. Starodubovskie Chteniya, No. 58: 471 (2011) (in Russian).
M. M. Nikitin, Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov, No. 2: 27 (2011) (in Russian).
L. Mayssel and R. Gleng, Tekhnologiya Tonkikh Plenok: Spravochnik [Thin Film Technology: A Guide] (Moscow: Sovetskoe Radio: 1977) (in Russian).
S. R. Ignatovich and I. M. Zakiev, Zavodskaya Laboratoriya, 77, No. 1: 61 (2011) (in Russian).
G. Brauer, B. Szyszka, M. Vergohl, and R. Bandorf, Vacuum, 84: 12: 1354 (2010). Crossref