Квантово-механічний модель взаємоузгодженого амплітудного та дисперсійного впливів недосконалостей структури на картину багатократного розсіяння для картографування та характеризації деформацій і дефектів у йонно-імплантованих ґранатових плівках
В. Б. Молодкін1, С. Й. Оліховський1, О. С. Скакунова1, Є. Г. Лень1, Є. М. Кисловський1, О. В. Решетник1, Т. П. Владімірова1, В. В. Лізунов1, Л. М. Скапа1, С. В. Лізунова1, К. В. Фузік1, М. Г. Толмачов1, Б. К. Остафійчук2, В. М. Пилипів2, О. З. Гарпуль2
1Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03142 Київ, Україна
2Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника, вул. Шевченка, 57, 76018 Івано-Франківськ, Україна
Отримано: 17.05.2015. Завантажити: PDF
Чисельне моделювання карт оберненого простору для йонно-імплантованих монокристалічних залізо-ітрійових плівок ферит-ґранатів на підложжях з ґадоліній-ґалійового ґранату здійснено на основі теоретичного моделю тривісної динамічної дифрактометрії для багатошарових кристалічних систем із неоднорідними розподілами деформації та випадково розподіленими дефектами. В цьому моделі амплітудний і дисперсійний механізми впливу недосконалостей структури відповідно на дифракцію чи на заломлення, поглинання й екстинкцію випромінення в інтенсивності когерентного та дифузного розсіяння взаємоузгоджено враховувалися для всіх шарів системи за допомогою одержаних рекурентних співвідношень між амплітудами когерентного розсіяння. В запропонованому моделі багатошарових систем враховано наявність ростових дефектів, як у плівці, так і в підложжі, а також радіяційних дефектів у приповерхневому шарі нанометрової товщини, утворених після імплантації йонів F+ з енергією у 90 кеВ. З використанням зазначеного моделю також оброблялися криві хитання вихідного та йонно-імплантованого зразків для визначення реалістичних параметрів профілів деформації та структурних характеристик дефектів у підложжях та імплантованих плівках з метою чисельної реконструкції картин динамічної дифракції від монокристалічних багатошарових зразків.
Ключові слова: динамічна теорія дифракції, тонкі плівки, залізо-ітрієвий ґранат, йонна імплантація, радіаційні дефекти, розподіл деформації, ріст дефектів.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v37/i08/1017.html
PACS: 61.05.cc, 61.05.cf, 61.72.Dd, 61.72.up, 61.80.Jh, 61.82.Ms, 68.55.Ln