Механічні та структурні дослідження трикомпонентних шарів Mo–Zr–N, нанесених на підложжя фізичним осадженням парів
Абдельазіз Аббуді$^{1}$, Брагім Шармім$^{1}$, Хамид Джебейлі$^{2}$, Мурад Бріуа$^{1}$
$^{1}$Université Colonel Hadj Lakhdar, Batna, Algeria
$^{2}$LASPI2A, Université Abbas Laghrour de Khenchela, BP 1252 Route de Batna Khenchela, 40004 Khenchela, Algeria
Отримано: 18.12.2016; остаточний варіант - 28.05.2017. Завантажити: PDF
Метою даної роботи є поліпшення механічних характеристик трикомпонентних покриттів з нітриду молібден–цирконію (Mo–Zr–N), а також пошук відповідної стехіометрії, щоб одержати мікроструктуру, орієнтовану на очікувані властивості, з використанням наступних метод характеризації: SEM, XRD, EDS, XPS, WDS та ін., а також наноіндентування, альтернативної трибометрії та випробувань за допомогою нанесення подряпин. Морфологічні дослідження трикомпонентного покриття Mo–Zr–N показали, що переважає орієнтація (111), яка, по суті, виникає завдяки залишковим внутрішнім напруженням. Під час розробки сполуки Mo–Zr–N було помічено, що додавання Zr приводить до багатофазної структури, що складається з бінарних нітридів ZrN, MoN та MoZrN з призматичною будовою. Шерсткість є меншою для покриття Mo–N та за низьких рівнів вмісту Цирконію. При цьому модулі Юнґа мають дуже близькі значення, що проявляється при концентраціях Zr, нижчих за 100 ат.%, а кристалічна структура не впливає на здатність матеріялу до опору. Введення частинок цирконію дестабілізує сполуку, оскільки атомовий радіюс Цирконію (0,138 нм) є більшим за атомовий радіюс Молібдену (0,126 нм); тому ґратниця сполуки спотворюється, що пояснює появу залишкових напружень.
Ключові слова: мікроструктура, залишкові напруження, текстура, твердість, модуль Юнга, покриття, нанесення покриття осадженням парів.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v39/i06/0779.html
PACS: 62.20.Qp, 68.35.Ct, 68.35.Dv, 68.35.Gy, 81.15.-z, 81.40.Pq, 81.65.Lp