Експериментально поміряно за допомогою метода Бітті і теоретично обчислено згідно з тришаровою моделлю тонкої плівки залежності еліпсометричних параметрів від кута падіння світла на плівку для трьох тонких плівок молібдену при збудженні поверхневих поляритонів. Вимірюваними еліпсометричними параметрами були азимут відновленої лінійної поляризації і зсув фаз між $p$- та $s$-компонентами відбитого світла. Теоретичні розрахунки були виконані за допомогою рекурентних формул Ейрі. Проведені досліди показали, що експериментальні і теоретичні залежності еліпсометричних параметрів від кута падіння мають ідентичний хід, але між ними є кількісні розходження. Останнє пояснюється тим, що у використаній теоретичній тришаровій моделі тонкої плівки Мо межі між шарами вважалися ідеально пласкими. В той же час реальні межі поділу є шерсткими і неоднорідними. Одержані результати показали, що середній шар плівки є металічним молібденом, а верхній і нижній шари є окислами молібдену.