В рамках математичної моделі, що враховує конвекційний теплообмін з поверхнею утвореного осаду в умовах лазерного CVD-процесу, розраховано розподіли температурного поля та визначено умови формування осаду на діелектричному підложжі під час піролітичного розкладу тетракарбонілу нікелю та карбонілів інших перехідних металів. Методою скінченних елементів розраховано профілі осадів металів, що добре узгоджуються з експериментальними даними. Визначено параметри лазерного випромінення, за яких має місце піроліз карбонілів та осадження металів на підложжя, а також розмірні параметри осадів перехідних металів.