Моделювання умов існування емітера важкотопкого матеріалу в процесі катодного вакуумно-дугового осадження
В. Д. Алімов$^{1}$, А. В. Недоля$^{1}$, І. Н. Тітов$^{2}$
$^{1}$Запорізький національний університет, вул. Жуковського 66, 69600 Запоріжжя, Україна
$^{2}$Науково-технічний центр панорамних акустичних систем НАН України, вул. Чубанова, 1, 69600 Запоріжжя, Україна
Отримано: 22.11.2013; остаточний варіант - 13.10.2014. Завантажити: PDF
Запропоновано нелінійний математичний модель розігрівання емітера під час катодного вакуумно-дугового осадження матеріялів, який враховує залежність тепломісткости та теплопровідности матеріялу катоди від температури. За допомогою моделю розраховано значення густини струму емісії для різних тяжкотопких матеріялів, що добре узгоджуються з літературними значеннями, а також визначено умови, за яких реалізується випаровування матеріялу катоди. Встановлено зв’язок між густиною струму емісії та часом розігріву емітера до температури випаровування, який має нелінійний характер і залежить від термічних характеристик матеріялу катоди. Модель уможливлює підвищити ефективність осадження матеріялів шляхом попереднього оцінювання технологічних та фізичних параметрів осадження.
Ключові слова: нелінійне рівняння теплопровідності, густина струму, емісія, емітер, катод, важкотопкий матеріал.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i11/1523.html
PACS: 02.60.Lj, 65.40.Ba, 66.70.Df, 72.15.Eb, 73.30.+y, 81.15.Jj, 79.70.+q