Досліджено процеси взаємної дифузії в тонких полікристалічних плівках Au (30 нм)/Cu (40 нм) під час відпалу за температур у 100—200°C впродовж 15 і 30 хв. у вакуумі при різних тисках залишкової атмосфери у 10$^{-2}$ і 10$^{-6}$ Па та в середовищі водню при значенні тиску у 5$\cdot$10$^{2}$ Па. Застосовано методу мас-спектрометрії вторинних нейтральних частинок, доповнену трансмісійною електронною мікроскопією, Рентґеновою дифракцією й атомно-силовою мікроскопією. Перемішування двох шарів спостерігалося при температурах, за яких повністю виключається дифузія за об’ємним механізмом. Одержані для шару Au профілі Cu та їх еволюція з часом були типовими профілями $C$-кінетичного режиму зерномежової дифузії. Внаслідок значно вищої зерномежової дифузійної рухливости в збагаченому шарі Au насичення меж зерен золота досягається за дуже короткий час. Високий рівень концентрації Cu в шарі Au можна пояснити, припускаючи наявність рухливих меж, які залишають поза собою області з високою концентрацією Cu, близькою до стехіометричного складу. Фазоутворення відбувається всередині та навколо меж зерен шляхом переміщення компонента, що дифундує, вздовж рухомих меж зерен.