Методою магнетронного розпорошення одержано гібридні наноплівки, які складаються з частинок ніклю, інкапсульованих у вуглецеву оболонку (Ni@C). Завдяки певним умовам напорошення (низька температура, високий тиск) досягнуто кластерний характер формування плівок. Досліджено дві групи зразків із різними концентраційними співвідношеннями C:Ni. Встановлено, що кластери I-ої групи зразків (C:Ni = 60:40) є аморфними і лише за певної критичної температури формують кристалічну структуру, тоді як кластери II-ої групи зразків (C:Ni = 30:70) утворюють кристалічну структуру вже у плазмі. Розглянуто характер формування нанокомпозитних плівок за різних концентрацій вуглецю і температур підложжя.