Методою високороздільчої тунельної мікроскопії досліджено наноутворення срібла на поверхні Si(111), яких одержано за допомогою термічного осадження у вакуумі. Встановлено, що срібло на поверхні кремнію може утворювати наноструктури, які складаються з атомарних площин. Металеві наноутворення можуть мати вигляд правильних шестикутників. Для даних структур мінімальна висота росту сходинки складає до 0,23 нм. Досліджено особливості трансформації нанорельєфу при зміні температури зразка. Показано, що при збільшенні температури кількість відкритих шарів зменшується за рахунок поверхневого дрейфу, внаслідок якого відбувається горизонтальне зміщення. Представлено можливість консервації структури поверхні Si(111) 7$\times$7.