Багатошарові структури з графену/гексагонального нітриду бору (G/h-BN) демонструють високу рухливість носіїв, термічну стабільність і властивості глибокого поглинання ультрафіолетового випромінювання, які вважаються важливими для розробки різноманітних нових пристроїв. Однак їх широкомасштабне виготовлення та покращення продуктивности технічно обмежено складними процесами відшарування та перенесення під час виготовлення. У цьому дослідженні плівка h-BN була успішно нанесена за допомогою радіочастотного магнетронного розпилення та використовувалася як альтернатива металевим каталізаторам завдяки синтезу графена шляхом хемічного осадження з газової фази під низьким тиском. Це забезпечує альтернативні можливості для уникнення будь-яких процесів відшарування та перенесення при розробці багатошарових структур G/h-BN. Багатошарову структуру було підтверджено за допомогою спектроскопії комбінаційного розсіювання, атомно-силової мікроскопії та рентґенівської фотоелектронної спектроскопії. Було встановлено, що багатошарові плівки є однорідними, суцільними та добре леґованими Бором і Нітроґеном. Було оптимізовано параметри виготовлення для одержання високоякісного графену, а також досліджено механізм формування графену на плівці BN.