Йонна імплантація Алюмінію в неіржавійну крицю
В. Гончаров$^{1}$, В. Зажигалов$^{1}$, М. Гончарова$^{2}$
$^{1}$Інститут сорбції та проблем ендоекології НАН України, вул. Генерала Наумова, 13, 03164 Київ, Україна
$^{2}$Харківський національний університет мистецтв імені І.П. Котляревського, Майдан Конституцiї 11/13, 61003 Харків, Україна
Отримано: 09.11.2022; остаточний варіант - 28.02.2023. Завантажити: PDF
Встановлено, що імплантація Алюмінію в потоці йонів Нітроґену на поверхню неіржавійної криці приводить до часткової рекристалізації («феритизації», інокуляції з утворенням дефектів) несної матриці. СЕМ показала утворення алюмінійового покриття товщиною до 100 нм на поверхні носія в результаті імплантації. Результати РФЕС-дослідження поверхні показали, що цей поверхневий шар містить рентґеноаморфні нітридні, оксидні й оксинітридні сполуки Алюмінію. Окиснення композиту (імплантату) приводить до руйнування нітроґенвмісних сполук, і оксид Алюмінію стає базовим поверхневим шаром. Питома поверхня та механічна міцність поверхневого шару значно зростають після імплантації й окиснення імплантату та підвищення дози імплантації. Зміни структури та морфології поверхні й утворення хемічних сполук на носії впливають на теплофізичні характеристики (підвищуються температура поверхні та приповерхнева температура повітря) порівняно з необробленим зразком.
Ключові слова: морфологія, йонна імплантація, фазовий склад, механічна міцність.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v45/i06/0757.html
PACS: 61.05.cp, 61.72.up, 65.60.+a, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.Ln, 82.80.Pv