Йонна імплантація Алюмінію в неіржавійну крицю
В. Гончаров1, В. Зажигалов1, М. Гончарова2
1Інститут сорбції та проблем ендоекології НАН України, вул. Генерала Наумова, 13, 03164 Київ, Україна
2Харківський національний університет мистецтв імені І.П. Котляревського, Майдан Конституцiї 11/13, 61003 Харків, Україна
Отримано: 09.11.2022; остаточний варіант - 28.02.2023. Завантажити: PDF
Встановлено, що імплантація Алюмінію в потоці йонів Нітроґену на поверхню неіржавійної криці приводить до часткової рекристалізації («феритизації», інокуляції з утворенням дефектів) несної матриці. СЕМ показала утворення алюмінійового покриття товщиною до 100 нм на поверхні носія в результаті імплантації. Результати РФЕС-дослідження поверхні показали, що цей поверхневий шар містить рентґеноаморфні нітридні, оксидні й оксинітридні сполуки Алюмінію. Окиснення композиту (імплантату) приводить до руйнування нітроґенвмісних сполук, і оксид Алюмінію стає базовим поверхневим шаром. Питома поверхня та механічна міцність поверхневого шару значно зростають після імплантації й окиснення імплантату та підвищення дози імплантації. Зміни структури та морфології поверхні й утворення хемічних сполук на носії впливають на теплофізичні характеристики (підвищуються температура поверхні та приповерхнева температура повітря) порівняно з необробленим зразком.
Ключові слова: морфологія, йонна імплантація, фазовий склад, механічна міцність.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v45/i06/0757.html
PACS: 61.05.cp, 61.72.up, 65.60.+a, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.Ln, 82.80.Pv