В роботі досліджено зміну структури шаруватих плівкових композицій Ni/Ti з періодами модуляції у 30 нм і 15 нм (загальна товщина становить 60 нм), одержаних методом магнетронного осадження на підкладинки $p$-Si (001), в процесі відпалу у вакуумі до температури у 700°C. За результатами досліджень методами РСФА, МСВІ та чотирозондової резистометрії встановлено, що дифузійно-індуковані реакції в обох плівках перебігають через стадії перемішування металів, аморфізації та формування інтерметалідних фаз Ni$_{x}$Ti. Зменшення періоду модуляції зумовлює інтенсифікацію дифузійних процесів між матеріялами шарів, що спричинює зменшення температур початку структурних перетворень. Водночас період модуляції не впливає на температурний інтервал аморфізації, який для обох плівок складає $\cong$ 38°C.