Розробка високоефективного джерела йонів з холодною катодою для йонної імплантації

О. В. Косуля$^{1}$, Б. М. Романюк$^{1}$, О. С. Оберемок$^{1}$, В. А. Батурін$^{1}$, О. Ю. Роєнко$^{2}$, С. О. Єрьомін$^{2}$, П. О. Літвінов$^{2}$

$^{1}$Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, просп. Науки, 41, 03028 Київ, Україна
$^{2}$Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Україна

Отримано: 09.10.2024; остаточний варіант - 04.06.2025. Завантажити: PDF

В даній статті описано конструкцію високоефективного джерела йонів із холодною катодою Пеннінґової системи для йонної імплантації. Джерело йонів призначене для одержання великих струмів (> 10 μА) з твердих матеріялів, температура кипіння яких вище за температуру топлення. Також проведено апробацію джерела йонів на йонному імплантері BALZERS MPB-202.

Ключові слова: йонна імплантація, джерело йонів, йонний імплантер, йони металів, напівпровідникові структури.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v47/i06/0575.html

PACS: 29.20.Ej, 29.25.Lg, 29.25.Ni, 29.27.Ac, 41.75.Ak, 41.75.Cn, 61.72.U-

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

E. Rimini, Ion Implantation: Basics to Device Fabrication (New York: Springer: 2013).
S. Sakai, N. Hamamoto, Y. Inouchi, S. Umisedo, and N. Miyamoto, Rev. Sci. Instrum., 85: 02C313 (2014).
S.R. Walther, B.O. Pedersen,and C.M. McKenna, Proc. of Conference Record of the 1991 IEEE Particle Accelerator Conference (1991).
V. A. Baturin, P. A. Litvinov, S. A. Pustovoitov, and O. Yu. Roenko, Problems of Atomic Science and Technology, 6: 99 (2021).
V. A. Baturin, S. A. Yeryomin, S. A. Pustovoytov, P. A. Litvinov, A. Y. Karpenko, and V. I. Miroshnichenko, Problems of Atomic Science and Technology, 96, Iss. 2: 204 (2015).
P. A. Litvinov, V. A. Baturin, and S. A. Pustovoytov, Journal of Technical Physics, 84, Iss. 4: (2014).
https://www.atsdr.cdc.gov/csem/beryllium/docs/beryllium.pdf
P. A. Litvinov and V. A. Baturin, Dzherelo Ioniv H− [H− Ion Source]: Patent No. UA 71164 A, 20031110165 (2004) (in Ukrainian).
S. A. Pustovoytov, V. A. Baturin, S. A. Yeryomin, and A. J. Karpenko, Problems of Atomic Science and Technology, Iss. 4: 280 (2008).
V. A. Baturin and S. A. Yeryomin, Journal of Nano- and Electronic Physics, 10, No. 4: 04021 (2018).