Ґенерація дефектів поверхні Al(111) під впливом йонів Ar$^{+}$ низької енергії

М. О. Васильєв$^{1}$, І. М. Макеєва$^{1}$, В. О. Тіньков$^{1}$, С. М. Волошко$^{2}$

$^{1}$Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03680, МСП, Київ-142, Україна
$^{2}$Національний технічний університет України «КПІ», пр. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна

Отримано: 20.06.2014. Завантажити: PDF

У роботі детально вивчено дозову залежність ґенерації та відпалу точкових дефектів, індукованих бомбуванням поверхні монокристалу Al(111) йонами Ar$^{+}$ з енергією 600 еВ у надвисокому вакуумі за допомогою методи дифракції повільних електронів. Показано можливість аналізи зміни інтенсивности дифракційних рефлексів повільних електронів безпосередньо в процесі йонного бомбування, що виключає ефект відпалу при подальшій витримці за кімнатної температури. На основі аналізи дифракційних рефлексів одержано значення енергії активації точкових дефектів.

Ключові слова: точкові дефекти, поверхня, монокристал, йонне бомбування, дифракція повільних електронів.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i10/1371.html

PACS: 61.05.jh, 61.72.Cc, 61.72.Dd, 61.80.Jh, 61.82.Bg, 81.40.Ef, 81.40.Wx


ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. G. Carter, J. S. Colligon, W. A. Grant, and J. L. Whitton, Radiat. Res. Rev., 3: 1 (1997).
  2. M. A. Vasiliev, J. Phys. D, 30: 3037 (1997). Crossref
  3. N. Lam, Surf. Interface Anal., 12: 65 (1998). Crossref
  4. M. Hill, Surf. Interface Anal., 12: 21 (1998). Crossref
  5. П. І. Мельник, С. П. Новосядлий, В. М. Бережанський, В. М. Вівчарук, Фізика і хімія твердого тіла, 8, № 4: 791 (2007).
  6. H. Carstanjen, Nucl. Instrum. Methods B, 136–138: 1183 (1998). Crossref
  7. D. O’Connor, B. King, R. J. MacDonald, Y. Shen, and X. Chen, J. Phys., 43: 601 (1990).
  8. A. Webb and J. Smith, Surf. Interface Anal., 12: 303 (1998). Crossref
  9. B. Svensson, M. Linnarsson, J. Cardenas, and M. Petravic, Nucl. Instrum. Methods B, 136–138: 1034 (1998). Crossref
  10. S. Matsui and Y. Ochiai, Nanotechnology, 7: 247 (1996). Crossref
  11. V. T. Cherepin, A. A. Kosyachkov, and M. A. Vasiliev, Surf. Sci., 58: 609 (1976). Crossref
  12. R. Miranda and J. Rojo, Vacuum, 34: 1069 (1984). Crossref
  13. S. P. Chenakin, Vacuum, 36: 635 (1986). Crossref
  14. J. Treglio, A. Perry, and R. Stinner, Adv. Mater. Proc., 5: 29 (1995).
  15. X. Wang and B. Chen, Vacuum, 45: 23 (1994). Crossref
  16. И. И. Аксенов, Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование (Киев: Наукова думка: 2012).
  17. R. Jacobson and K. G. Wehner, J. Appl. Phys., 36: 2674 (1965). Crossref
  18. S. J. Davidson, Mater. Sci., 7: 473 (1972). Crossref
  19. R. J. Park, Appl. Phys., 37: 295 (1966). Crossref
  20. H. Farnsworth and K. Hayek, Surf. Sci., 8: 35 (1967). Crossref
  21. J. Bellina and H. J. Farnsworth, Vacuum Sci. Technol., 9: 616 (1972). Crossref
  22. W. Heiland and E. Taglauer, Radiat. Effects, 19: 1 (1973). Crossref
  23. L. K. Verheij, Surf. Sci., 114: 667 (1982). Crossref
  24. L. K. Verheij, J. A. Van den Berg, and D. G. Armour, Surf. Sci., 122: 216 (1982). Crossref
  25. D. S. Karpuzov and D. G. Armour, J. Phys. D, 17: 853 (1984). Crossref
  26. G. V. Kornich, G. Betz, and A. I. Bazhin, Phys. Solid State, 43: 29 (2001). Crossref
  27. O. Rodriguez de la Fuente, M. A. Gonzalez-Barrio, V. Navarro, B. M. Pabon, I. Palacio, and A. Mascaraque, J. Phys.: Condens. Matter, 25, No. 48: 134 (2013). Crossref
  28. M. Henzler, Appl. Surf. Sci., 11–12: 450 (1982). Crossref
  29. M. A. Vasiliev and S. D. Gorodetsky, Vacuum, 37: 723 (1987). Crossref
  30. P. Wynblatt and N. A. Gjostein, Surf. Sci., 12: 109 (1968). Crossref
  31. М. Томпсон, Дефекты и радиационные повреждения в металлах (Москва: Мир: 1971).
  32. M. Doyama and J. S. Koehle, Acta Met., 24: 871 (1976). Crossref