Випуски МФіНТ »  Том 40, випуск 5

Прикладні можливості рентґенівської топографії кристалів у косоасиметричній схемі дифракції на відбивання

І. М. Фодчук$^{1}$, Р. А. Заплітний$^{1}$, Ю. Т. Роман$^{1}$, В. Б. Молодкін$^{2}$, Т. П. Владимирова$^{2}$, З. Свянтек$^{3}$

$^{1}$Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, вул. Коцюбинського, 2, 58012 Чернівці, Україна
$^{2}$Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03142 Київ, Україна
$^{3}$Інститут металургії та матеріалознавства, Польська академія наук, вул. Реймонта, 25, 30-059 Краків, Польща

Отримано: 03.03.2018. Завантажити: PDF

Показано прикладні можливості використання модифікованої топографічної методи Берґа–Баррета в косоасиметричній схемі дифракції Рентґенових променів на відбивання при дослідженні морфології та структурних змін поблизу поверхні кристалів. Контрольована зміна екстинкційної глибини проникнення Рентґенових променів відкриває нові можливості дослідження структурних змін у напівпровідникових матеріялах після різних зовнішніх впливів.

Ключові слова: рентґенівська дифракція, рентґенівська топографія, структурна діягностика, метода Берґа–Баррета.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v40/i05/0561.html

PACS: 07.85.-m, 41.50.+h, 61.05.C-, 61.72.Ff, 68.55.J-, 68.55.Ln, 81.05.Dz

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. W. F. Berg, Naturwissenschaften, 19, No. 8: 391 (1931). Crossref
  2. C. S. Barrett, Trans. AIME, 161, No. 1: 15 (1945).
  3. G. N. Ramachandran, Proc. Indian Acad. Sci., 19: 280 (1944).
  4. T. Bedynska, phys. status solidi (a), 19, Iss. 1: 365 (1973). Crossref
  5. B. K. Tanner, X-Ray Diffraction Topography (Oxford: Pergamon Press–Oxford University Press: 1976).
  6. D. K. Bowen and B. K. Tanner, High Resolution X-Ray Diffractometry and Topography (London: Taylor and Francis Ltd.: 1998).
  7. A. Authier, Dynamical Theory of X-Ray Diffraction (New York: Oxford University Press: 2001).
  8. D. R. Black and G. G. Long, X-Ray Topography (Washington: US Covernment Printing Office: 2004). Crossref
  9. V. Holy, U. Pietsch, and T. Baumbach, High-Resolution X-Ray Scattering from Thin Films and Multilayers (Heidelberg: Springer: 1999).
  10. A. M. Afanas’ev and M. K. Melkonyan, Acta Cryst. A, A39, No. 2: 207 (1983). Crossref
  11. А. М. Афанасьев, П. А. Александров, Р. М. Имамов, Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев (Москва: Наука: 1989).
  12. R. M. Imamov, A. A. Lomov, and D. V. Novikov, phys. status solidi (a), 115, Iss. 2: K133 (1989). Crossref
  13. D. Novikov, M. Ohler, R. Köhler, and G. Meterlik, J. Phys. D: Appl. Phys., 28, No. 4A: A84 (1995). Crossref
  14. J. Hartwig, J. Phys. D: Appl. Phys., 34, No. 10A: A70 (2001). Crossref
  15. J.-F. Petroff, Applications of X-Ray Topographic Methods to Materials Science (Eds. S. Weissmann, F. Balibar, and J.-F. Petroff) (New York: Plenum Press: 1984), p. 536.
  16. M. Kuriyama and G. G. Long, Applications of X-Ray Topographic Methods to Materials Science (Eds. S. Weissmann, F. Balibar, and J.-F. Petroff) (New York: Plenum Press: 1984), p. 536.
  17. V. L. Indenbom and V. M. Kaganer, phys. status solidi (a), 87, Iss. 1: 253 (1985). Crossref
  18. U. Bonse, Direct Observation of Imperfections in Crystals (New York: Willey: 1962).
  19. В. Б. Молодкин, А. И. Низкова, А. П. Шпак, В. Ф. Мачулин, В. П. Кладько, И. В. Прокопенко, Р. Н. Кютт, Е. Н. Кисловский, С. И. Олиховский, И. М. Фодчук, А. А. Дышеков, Ю. П. Хапачев, Дифрактометрия наноразмерных дефектов и гетерослоев кристаллов (Киев: Академпериодика: 2005).
  20. P. Riglet, M. Sauvage, J. P. Petroff, and Y. Epelboin, Philos. Mag., 42, No. 3: 339 (1980). Crossref
  21. T. Kitano, T. Ishikawa, and J. Matsui, Philos. Mag., 63, No. 1: 95 (1991). Crossref
  22. M. G. Tsoutsouva, V. A. Oliveira, J. Baruchel, D. Camel, B. Marie, and T. A. Lafford, J. Appl. Cryst., 48, No. 1: 645 (2015). Crossref
  23. W. Ludwig, P. Cloetens, J. Hartwig, J. Baruchel, B. Hamelin, and P. Bastie, J. Appl. Cryst., 34, No. 5: 602 (2001). Crossref
  24. D. Lübbert, T. Baumbach, J. Härtwig, E. Boller, and E. Pernot, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. (b), 160, No. 4: 521 (2000). Crossref
  25. D. Lübbert and T. Baumbach, J. Appl. Cryst., 40, No. 5: 595 (2007). Crossref
  26. D. Grigoriev, S. Lazarev, P. Schroth, A. A. Minkevich, M. Kohl, T. Slobodskyy, M. Helfrich, D. M. Schaadt, T. Aschenbrenner, D. Hommel, and T. Baumbach, J. Appl. Cryst., 49, No. 3: 961 (2016). Crossref
  27. F. Rustichelli, Phiosl. Mag., 31, No. 1: 1 (1975). Crossref
  28. O. Brummer, H. R. Hoche, and J. Nieber, phys. status solidi (a), 33, Iss. 2: 587 (1976). Crossref
  29. O. Brummer, H. R. Hoche, and J. Nieber, phys. status solidi (a), 37, Iss. 2: 529 (1976). Crossref
  30. J. Hartwig, Exp. Tech. Phys., 26, No. 3: 535 (1978).
  31. S. Stepanov, Proc. SPIE, 5536: 16 (2004). Crossref
  32. V. Lerche, P. Dornfelder, and J. Hartwig, phys. status solidi (a), 128, Iss. 2: 269 (1991). Crossref
  33. С. А. Кшевецкий, Ю. П. Стецко, И. М. Фодчук, И. В. Мельничук, В. С. Полянко, Український фізичний журнал, 35, № 3: 444 (1990).
  34. И. М. Фодчук, О. С. Кшевецкий, Металлофизика, 14, № 5: 57 (1992).
  35. I. M. Fodchuk, A. M. Raransky, and A. V. Evdokimenko, Proc. SPIE, 3045: 37 (1995).
  36. И. М. Фодчук, А. Н. Раранский, А. В. Евдокименко, Неорганические материалы, 31, № 10: 1669 (1995).
  37. V. Savitsky, L. Mansurov, I. Fodchuk, I. Izhnin, I. Virt, M. Lozynska, and A. Evdokimenko, Proc. SPIE, 3725: 299 (1998). Crossref
  38. Z. Świątek, J. T. Bonarski, R. Ciach, Z. T. Kuźnicki, I. M. Fodchuk, M. D. Raransky, and P. Gorley, Thin Solid Films, 319, Nos. 1–2: 39 (1998). Crossref
  39. Z. T. Kuznicki, R. Ciach, Z. Swiatek, N. D. Raranskii, I. M. Fodchuk, P. N. Gorlei, and D. V. Kadel’nik, Inorg. Mater., 36, No. 5: 508 (2000). Crossref
  40. J. T. Bonarski, M. Zehetbauer, Z. Swiatek, I. M. Fodchuk, I. Kopacz, S. Bernstorff, and H. Amenitsch, Opto-Electron. Rev., 8, No. 4: 323 (2000).
  41. И. В. Литвинчук, З. Свянтек, И. М. Фодчук, Металлофиз. новейшие технол., 27, № 8: 71 (2004).
  42. Р. А. Заплитный, Т. А. Каземирский, И. М. Фодчук, З. Свянтек, Металлофиз. новейшие технол., 27, № 8: 915 (2006).
  43. I. Fodchuk, R. Zaplitnyy, T. Kazemirskiy, and Z. Swiatek, phys. status solidi (a), 204, Iss. 8: 2714 (2007). Crossref
  44. A. P. Vlasov, O. Yu. Bonchyk, S. G. Kiyak, I. M. Fodchuk, R. M. Zaplitnyy, T. Kazemirskiy, A. Barcz, P. S. Zieba, Z. Swiatek, and W. Maziarz, Thin Solid Films, 516, No. 22: 8106 (2008). Crossref
  45. I. Fodchuk, R. Zaplitnyy, T. Kazemirskiy, I. Litvinchuk, and Z. Swiatek, phys. status solidi (a), 206, Iss. 8: 1804 (2009). Crossref
  46. Z. Swiatek and I. M. Fodchuk, Arch. Metall. Mater., 61, No. 4: 1931 (2016). Crossref
  47. Z. Swiatek, I. Fodchuk, and R. Zaplitnyy, J. Appl. Crystallogr., 50, No. 3: 727 (2017). Crossref
  48. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. G. Len, Ye. M. Kyslovskyy, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, B. V. Sheludchenko, O. S. Skakunova, V. V. Lizunov, E. V. Kochelab, I. M. Fodchuk, and V. P. Klad’ko, Металлофиз. новейшие технол., 38, № 1: 99 (2016). Crossref
  49. W. E. Tennant, C. A. Cockrum, J. B. Gilpin, M. A. Kinch, M. B. Reine, and R. P. Ruth, J. Vac. Sci. Technol. B, 10, No. 4: 1359 (1992). Crossref
  50. S. Takagi, Acta Cryst., 15, No. 16: 1311 (1962). Crossref

© 2013–2018 «ІМФ НАН України»