У роботі викладено технологічні умови формування двошарових і тришарових поруватих систем Zn/ZnO і Zn/ZnO/NiO. На першому етапі розглянуто структуроутворення базових поруватих систем Zn в процесі близькорiвноважної стаціонарної конденсації, а також розглянуто деякі аспекти управління цим процесом за допомогою самоорганізації незмінних в часі малих пересичень парів, що конденсуються. При отриманні поруватих систем Zn спочатку на підкладки з лабораторного скла за допомогою двох магнетронних розпорошувачів наносили двошарові контактні площинки на основі Cr і Au. Загальна товщина контактних площинок становила 0,8 мкм. Необхідність попереднього нанесення контактних площинок обумовлена тим, що механізм зародження поруватих структур Zn і подальшого їх нарощування залежать від природи поверхні підкладки. На наступному етапі на контактних площинках були отримані поруваті шари Zn трьох типів. При реалізації гранично слабких пересичень утворюються поруваті структури Zn у вигляді пов’язаних нанониток, а за поступового підвищення пересичення спостерігається перехід до утворення поруватих структур на основі об’ємних кристалів. Показана можливість зниження опору багатошарових систем за допомогою неповного окислення базових поруватих шарів Zn або нанесення на них плівок ZnO та NiO, що є важливим для практичного застосування отриманих шарів при створенні електродів літій-йонних акумуляторів. На основі аналізу результатів растрової та просвічувальної електронної мікроскопії, енергодисперсійної рентгенівської спектроскопії та рентґенівської дифрактометрії оптимізовано фазовий і елементний склади, а також структурно-морфологічні характеристики складових шарів Zn/ZnO і Zn/ZnO/NiO.