Випуски МФіНТ »  Том 44, випуск 4

Модернізація технології вакуумно-дугового нанесення багатошарових наноструктурних покриттів

І. В. Сердюк, В. О. Столбовий, А. В. Доломанов, В. М. Домнич

Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна

Отримано: 17.05.2021; остаточний варіант - 11.02.2022. Завантажити: PDF

Проведена модернізація технології вакуумно-дугового нанесення багатошарових покриттів. Розроблено дослідний зразок пристрою, призначеного для управління роботою вакуумно-дугових випарників (плазмових джерел) та напускачів для напуску газів у вакуумну камеру в процесі нанесення простих і складних комплексних багатошарових наноструктурних вакуумно-дугових покриттів. Цей пристрій являє собою 2-х канальний програмований цифровий пристрій, один з каналів якого керує роботою вакуумно-дугових випарників, а інший канал — роботою напускачів. Таким чином, є можливість одночасної роботи двох вакуумно-дугових випарників і двох напускачів газів. Товщину шарів вакуумно-дугового покриття, а також порядок їх нанесення можна регулювати режимами і тривалістю роботи каналів пристрою управління. Застосування даного пристрою дозволило одержати багатошарові вакуумно-дугові WNbN/WNbC покриття з мікротвердістю 27–31 ГПа.

Ключові слова: вакуумно-дугове нанесення, багатошарові покриття, вакуумно-дуговий випарник, напускач газу, програмований цифровий пристрій, наноструктурні покриття.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v44/i04/0547.html

PACS: 07.07.Tw, 68.60.-p, 81.07.-b, 81.15.-Aa, 81.15.-z, 89.20.Bb

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. A. A. Andreev, L. P. Sablev, and S. N. Grigoriev, Vakuumno-Dugovye Pokrytiya [Vacuum-Arc Coatings] (Kharkiv: NSC KIPT: 2010) (in Russian).
  2. O. V.Sobol’, A. A. Andreev, S. N. Grigoriev, V. F. Gorban’, V. A. Stolbovoy, I. V. Serdiuk, and V. E. Filchikov, Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6, No. 5: 4 (2011) (in Russian).
  3. I. V. Serdiuk, A. A. Andreev, V. F. Gorban’, O. V. Sobol’, and V. A. Stolbovoy, J. Surf. Phys. Eng., 13: 1 (2015) (in Russian).
  4. A. A. Andreev, O. V. Sobol’, I. V. Serdiuk, S. V. Federov, N. Ju. Cherkasova, and N. V. Solis, Perspektivnye Materialy, No. 3: 46 (2014) (in Russian).
  5. O. V. Sobol’, A. A. Andreev, R. P. Mygushchenko, V. M. Beresnev, A. A. Meylekhov, A. A. Postelnyk, S. A. Kravchenko, Taha A. Tabaza, Safwan M. Al-Qawabah, Ubeidulla F. Al-Qawabeha, V. A. Stolbovoy, D. A. Kolesnikov, and M. G. Kovaleva, PAST. Series: Vacuum, Pure Materials, Superconductors, 1: 113 (2018).
  6. O. V. Sobol’, A. A. Andreev, V. F. Gorban’, V. A. Stolbovoy, N. V. Pinchuk, and A. A. Meylekhov, PAST. Series: Physics of Radiation Effect and Radiation Materials Science, 2: 96 (2015).
  7. A. A. Andreev, V. I. Kovalenko, V. G. Marinin, L. I. Martinenko, and V. A. Stolbovoy, ScienceRise, 5, No. 2: 22 (2016) (in Russian). Crossref
  8. V. A. Stolbovoy, J. Surf. Phys. Eng., 1: 3 (2016) (in Russian).
  9. V. Y. Novikov, V. M. Beresnev, D. A. Kolesnikov, O. N. Ivanov, S. V. Lytovchenko, V. A. Stolbovoy, I. V. Kolodiy, A. O. Kozachenko, M. G. Kovaleva, E. V. Kritsyna, and O. V. Glukhov, PAST. Series: Physics of Radiation Effect and Radiation Materials Science, 2: 120 (2019).
  10. V. F. Gorban’, A. O. Andreev, V. A. Stolbovoi, A. M. Myslyvchenko, and A. D. Kostenko, J. Superhard Materials, 42: 25 (2020). Crossref
  11. E. Sheinman, Met. Sci. Heat Treat., 50: 600 (2008). Crossref
  12. C. Ducros, C. Cayron, and F. Sanchette, Surf. Coat. Tech., 201: 1 (2006). Crossref
  13. Iu. Sisoiev, I. Serdiuk, A. Dolomanov, and D. Kovteba, PAST. Series: Physics of Radiation Effect and Radiation Materials Science, 2: 109 (2017).
  14. O. V. Sobol’, A. A. Andreev, R. P. Mygushchenko, V. M. Beresnev, A. A. Meylekhov, A. A. Postelnyk, S. A. Kravchenko, Taha A. Tabaza, Safwan M. Al-Qawabah, Ubeidulla F. Al-Qawabeha, V. A. Stolbovoy, I. V. Serdiuk, D. A. Kolesnikov, and M. G. Kovaleva, PAST. Series: Vacuum, Pure Materials, Superconductors, 1: 113 (2018).
  15. V. P. Rudenko, V. A. Stolbovoy, I. V. Serdiuk, and K. G. Kartmazov, Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6, No. 1: 48 (2010) (in Russian).
  16. O. V. Sobol’, A. A. Andreev, V. F. Gorban’, V. A. Stolbovoy, N. V. Pinchuk, and A. A. Meylekhov, PAST. Series: Physics of Radiation Effect and Radiation Materials Science, 2: 96 (2015).
  17. U. S. Nyemchenko, V. M. Beresnev, O. V. Sobol’, S. V. Lytovchenko, V. A. Stolbovoy, V. Ju. Novikov, A. A. Meylekhov, A. A. Postelnyk, and M. G. Kovaleva, PAST. Series: Vacuum, Pure Materials, Superconductors, 1: 101 (2016).
  18. V. O. Stolboviy, J. Nano-Electron. Phys., 9: 5 (2017). Crossref

Ліцензія Creative Commons
Цю статтю ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна
© 2000–2022 «Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України»