Вплив йонно-термічного оброблення на зносостійкість нанорозмірних багатошарових плівок
В. Янчук$^{1}$, І. Круглов$^{1}$, В. Закієв$^{1,2}$, Г. Лозова$^{1}$, Б. Трембач$^{3}$, А. Орлов$^{1}$, С. Волошко$^{1}$
$^{1}$Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
$^{2}$Національний авіаційний університет, просп. Любомира Гузара, 1, 03058 Київ, Україна
$^{3}$Приватне акціонерне товариство «Новокраматорський машинобудівний завод», вул. Олекса Тихого, 5, 84305 Краматорськ, Україна
Отримано: 28.07.2022; остаточний варіант - 11.08.2022. Завантажити: PDF
У даній роботі за допомогою методи склерометрії досліджено мікротрибологічні характеристики тришарових нанорозмірних композицій Ni(25 нм)/ Cu(25 нм)/Cr(25 нм), одержаних методою магнетронного осадження. Досліджено чотири різні типи нанорозмірних композицій: після осадження, після опромінення низькоенергетичними йонами Ar$^{+}$, після відпалу у вакуумі за температури 450°С впродовж 15 хвилин і після йонного опромінення з наступним вакуумним відпалом. Результати мікротрибологічних випробувань доповнено даними структурних (РСФА) та хемічних (ОЕС) досліджень. Встановлено, що найкращі мікротрибологічні та зносостійкі характеристики серед усіх досліджуваних зразків виявлено для випадку йонного опромінення з наступним відпалом. Для цього зразка зафіксовано найвищу зносостійкість, чітку форму подряпини, найменше значення максимальної танґенційної сили, а також відсутність бічних тріщин і розшарування плівки. Обговорюються ймовірні причини такого ефекту.
Ключові слова: термічне та йонне оброблення, тонкоплівкові композиції, зносостійкість, мікротрибологічна стійкість, склерометрія.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v44/i10/1275.html
PACS: 07.10.-h, 68.35.Fx, 68.35.Rh, 68.55.Ln, 81.40.-z