Вплив йонно-термічного оброблення на зносостійкість нанорозмірних багатошарових плівок
В. Янчук1, І. Круглов1, В. Закієв1,2, Г. Лозова1, Б. Трембач3, А. Орлов1, С. Волошко1
1Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
2Національний авіаційний університет, просп. Любомира Гузара, 1, 03058 Київ, Україна
3Приватне акціонерне товариство «Новокраматорський машинобудівний завод», вул. Олекса Тихого, 5, 84305 Краматорськ, Україна
Отримано: 28.07.2022; остаточний варіант - 11.08.2022. Завантажити: PDF
У даній роботі за допомогою методи склерометрії досліджено мікротрибологічні характеристики тришарових нанорозмірних композицій Ni(25 нм)/ Cu(25 нм)/Cr(25 нм), одержаних методою магнетронного осадження. Досліджено чотири різні типи нанорозмірних композицій: після осадження, після опромінення низькоенергетичними йонами Ar+, після відпалу у вакуумі за температури 450°С впродовж 15 хвилин і після йонного опромінення з наступним вакуумним відпалом. Результати мікротрибологічних випробувань доповнено даними структурних (РСФА) та хемічних (ОЕС) досліджень. Встановлено, що найкращі мікротрибологічні та зносостійкі характеристики серед усіх досліджуваних зразків виявлено для випадку йонного опромінення з наступним відпалом. Для цього зразка зафіксовано найвищу зносостійкість, чітку форму подряпини, найменше значення максимальної танґенційної сили, а також відсутність бічних тріщин і розшарування плівки. Обговорюються ймовірні причини такого ефекту.
Ключові слова: термічне та йонне оброблення, тонкоплівкові композиції, зносостійкість, мікротрибологічна стійкість, склерометрія.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v44/i10/1275.html
PACS: 07.10.-h, 68.35.Fx, 68.35.Rh, 68.55.Ln, 81.40.-z