Processing math: 100%
Випуски МФіНТ »  Том 45, випуск 2

Особливості структуроутворення тонких плівок міді та визначення їхніх плазмонно-резонансних властивостей

М. Ю. Барабаш1,2, А. А. Колесніченко1, Д. С. Леонов1, Р. В. Литвин1,3, А. Ю. Сезоненко1, І. В. Лук’яненко1,2, Є. Г. Биба1,2, М. М. Ямшинський1,2, Є. М. Бобошко1,2

1Технічний центр НАН України, вул. Покровська, 13, 04070 Київ, Україна
2Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
3Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, вул. Омеляна Пріцака, 3, 03142 Київ, Україна

Отримано: 21.01.2023; остаточний варіант - 10.03.2023. Завантажити: PDF

Основним завданням роботи було визначити особливості формування структури мідних плівок товщиною 100–300 нм на скляних підложжях, отриманих термічним напорошенням та вивчити ефекти оптичних резонансів в тонких металевих плівках міді за допомогою спектрів поглинання та комбінаційного розсіювання. Проведено дослідження атомно-кристалічної структури тонких плівок міді за допомогою рентгенівської дифрактометрії. Проаналізовано механізм утворення острівцевих тонких плівок. Результат перетворення структури визначається енергією взаємодії атомів плівки між собою та з підложжям, а також фізико-технологічними параметрами конденсації та наступних оброблень та відпалу. Ідентифіковано оптичні резонанси мідних плівок на скляних підложжях за допомогою спектрів поглинання та комбінаційного розсіяння.

Ключові слова: дифрактометрія, електронна мікроскопія, оптична спектроскопія, термічне напорошення, острівцеві плівки, розмірні ефекти.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v45/i02/0169.html

PACS: 68.37.-d, 68.55.-a, 78.20.-e, 78.67.-n, 81.15.-z, 81.15.Kk

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. М. Ю. Барабаш, Журнал нано- та електронної фізики, 10, №1: 01025 (2018). Crossref
  2. Л. И. Трусов, В. А. Холмянский, Островковые металлические пленки (Моск-ва: Металлургия: 1973).
  3. А. П. Шпак, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Ю. А. Куницький, Наносистеми, на-номатеріали, нанотехнології, 8, №2: 339 (2010).
  4. Ю. А. Куницький, Я. І. Купина, Електронна мікроскопія (Київ: Либідь: 1998).
  5. A. C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B, 61, No. 20: 14095 (2000). Crossref
  6. Yu. Liu, C. Pan, and J. Wang, J. of Materials Science, 39: 1091 (2004); Crossref
  7. Ю. Ф. Комник, Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффôôекты (Москва: Атомиздат: 1979).
  8. Я. С. Уманский, Ю. А. Скаков, А. Н. Иванов, Л. Н. Расторгуев, Кристалло-графия, рентгенография и электронная микроскопия (Москва: Металлур-гия: 1982).
  9. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, М. Ю. Барабаш, Ю. А. Куницький, Хімія, фізика та технологія поверхні, 1, №2: 128 (2010).
  10. М. Ю. Барабаш, А. А. Колесніченко, Д. С. Леонов, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 15, №4: 757 (2017).
  11. М. Yu. Barabash, G. G. Vlaykov, A. A. Kolesnichenko, and L. V. Rybov, Selected Papers from the 2018 International Conference on ‘Nanomaterials: Applications & Properties’ (Springer Nature Singapore Pte ltd.: 2019), p. 169. Crossref
  12. J. Robertson, Adv. Phys., 35: 317 (1986). Crossref
  13. M. Yu. Barabash, E. I. Martynchuk, E. S. Zhitluhina, ‘XXII Galyna Puchkovska International School-Seminar Spectroscopy of Molecules and Crystals’ (September 27–October 4, 2015) (Uzhgorod: Chynadiyovo: 2015), p. 260.
  14. В. Б. Лазарев, В. В. Соболев, И. С. Шаплыгин, Химические и физические свойства простых оксидов металлов (Москва: Наука: 1983).
  15. https://refractiveindex.info/?shelf=main&book=Cu&page=Johnson
  16. M. Yu. Barabash, G. G. Vlaykov, A. A. Kolesnichenko, R. V. Litvin, A. Yu. Sezonenko, and V. E. Martynchuk, Proceedings of the 2018 IEEE 8-th International Conference on Nanomaterials: Applications & Properties (NAP-2018) (9–14 September, 2018) (Odessa: Zatoka: 2018), Part 3, p. 03TFNMC03-1-4.
  17. M. Yu. Barabash, S. O. Sperkach, and V. E. Martynchuk, Nanotechnology and Nanomaterials (NANO-2017)” (23–26 серпня 2017) (Чернівці: 2017), c. 401.
  18. A. V. Butenko, Yu. E. Danilova, P. A. Chubakov, S. V. Karpov, A. K. Popov, S. G. Rautian, V. P. Safonov, V. V. Slabko, V. M. Shalaev, and M. I. Stockman, Z. Phys. D, 17: 283 (1990). Crossref

Ліцензія Creative Commons
Цю статтю ліцензовано на умовах Ліцензії Creative Commons із зазначенням авторства — без похідних 4.0 Міжнародна
© 2000–2023 «Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України»