Особливості структуроутворення тонких плівок міді та визначення їхніх плазмонно-резонансних властивостей
М. Ю. Барабаш1,2, А. А. Колесніченко1, Д. С. Леонов1, Р. В. Литвин1,3, А. Ю. Сезоненко1, І. В. Лук’яненко1,2, Є. Г. Биба1,2, М. М. Ямшинський1,2, Є. М. Бобошко1,2
1Технічний центр НАН України, вул. Покровська, 13, 04070 Київ, Україна
2Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна
3Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, вул. Омеляна Пріцака, 3, 03142 Київ, Україна
Отримано: 21.01.2023; остаточний варіант - 10.03.2023. Завантажити: PDF
Основним завданням роботи було визначити особливості формування структури мідних плівок товщиною 100–300 нм на скляних підложжях, отриманих термічним напорошенням та вивчити ефекти оптичних резонансів в тонких металевих плівках міді за допомогою спектрів поглинання та комбінаційного розсіювання. Проведено дослідження атомно-кристалічної структури тонких плівок міді за допомогою рентгенівської дифрактометрії. Проаналізовано механізм утворення острівцевих тонких плівок. Результат перетворення структури визначається енергією взаємодії атомів плівки між собою та з підложжям, а також фізико-технологічними параметрами конденсації та наступних оброблень та відпалу. Ідентифіковано оптичні резонанси мідних плівок на скляних підложжях за допомогою спектрів поглинання та комбінаційного розсіяння.
Ключові слова: дифрактометрія, електронна мікроскопія, оптична спектроскопія, термічне напорошення, острівцеві плівки, розмірні ефекти.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v45/i02/0169.html
PACS: 68.37.-d, 68.55.-a, 78.20.-e, 78.67.-n, 81.15.-z, 81.15.Kk